Thuyền khuếch tán thạch anh Semicorex, còn được gọi là tàu mang thạch anh hoặc thuyền wafer thạch anh, được thiết kế đặc biệt để giữ các tấm bán dẫn trong các quá trình quan trọng như lắng đọng hơi hóa học (CVD), oxy hóa nhiệt và ủ.**
Trong lắng đọng hơi hóa học (CVD), vai trò của Thuyền khuếch tán thạch anh là rất quan trọng đối với sự lắng đọng đồng đều của màng mỏng trên đế bán dẫn. Kỹ thuật chính xác của Thuyền khuếch tán thạch anh đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được giữ chắc chắn tại chỗ, cho phép phân phối đồng đều các chất phản ứng khí trên bề mặt của chúng. Tính đồng nhất này rất quan trọng để đạt được độ dày và thành phần màng nhất quán, ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất điện của các thiết bị bán dẫn. Thuyền khuếch tán thạch anh Semicorex được thiết kế để chịu được nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn thường gặp trong quy trình CVD, đảm bảo độ bền và độ tin cậy lâu dài.
Quá trình oxy hóa nhiệt là một quá trình quan trọng khác trong sản xuất chất bán dẫn, trong đó lớp silicon dioxide được hình thành trên bề mặt của tấm silicon. Lớp oxit này hoạt động như một chất cách điện và rất cần thiết cho hoạt động bình thường của các thiết bị bán dẫn. Thuyền khuếch tán thạch anh được thiết kế để mang lại độ ổn định nhiệt tuyệt vời, đảm bảo rằng các tấm bán dẫn tiếp xúc với nhiệt độ đồng đều trong quá trình oxy hóa. Tính đồng nhất này rất cần thiết cho sự phát triển của lớp oxit nhất quán và chất lượng cao, giúp nâng cao hiệu suất và độ tin cậy của các thiết bị bán dẫn cuối cùng.
Ủ, bao gồm việc làm nóng và làm mát các tấm bán dẫn có kiểm soát để thay đổi các tính chất vật lý và hóa học của chúng, là một quá trình khác trong đó Thuyền khuếch tán thạch anh đóng một vai trò quan trọng. Việc kiểm soát chính xác nhiệt độ và không khí trong quá trình ủ là rất quan trọng để cải thiện cấu trúc tinh thể của silicon, kích hoạt chất dẫn xuất và giảm khuyết tật. Thuyền khuếch tán thạch anh Semicorex được thiết kế để duy trì tính toàn vẹn cấu trúc và độ ổn định nhiệt dưới nhiệt độ cao và sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng điển hình của quá trình ủ. Sự ổn định này đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được xử lý đồng nhất, đạt được các đặc tính vật liệu mong muốn và nâng cao hiệu suất của các thiết bị bán dẫn.
Tùy chỉnh là một khía cạnh quan trọng của Thuyền khuếch tán thạch anh, vì các quy trình sản xuất chất bán dẫn khác nhau có những yêu cầu riêng. Tại Semicorex, chúng tôi cung cấp nhiều hình dạng và kích cỡ tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu cụ thể của khách hàng. Dòng sản phẩm của chúng tôi bao gồm nhiều loại tàu chở wafer thạch anh khác nhau, chẳng hạn như thuyền thạch anh, thuyền khía, thuyền san phẳng và thuyền hình đứng. Chúng tôi chuyên sản xuất các tấm wafer với nhiều thông số kỹ thuật khác nhau, bao gồm các tấm wafer 3", 4", 5", 6", 7", và 8". Cả hai loại vật liệu trong suốt và mờ đục đều có sẵn, cho phép chúng tôi cung cấp các giải pháp phù hợp với yêu cầu cụ thể của từng ứng dụng.
Năng lực sản xuất của chúng tôi được hỗ trợ bởi cơ sở vật chất hiện đại, bao gồm phòng hàn không bụi và xưởng gia công tiêu chuẩn cao. Chúng tôi sử dụng các công nghệ tiên tiến như cắt laser, trung tâm gia công CNC, máy khía CNC và cắt nước hiệu quả để đảm bảo chất lượng và độ chính xác cao nhất trong Thuyền khuếch tán thạch anh. Những quy trình sản xuất tiên tiến này cho phép chúng tôi sản xuất thuyền thạch anh với kích thước chính xác và bề mặt hoàn thiện vượt trội, đảm bảo hiệu suất tối ưu trong quy trình sản xuất chất bán dẫn.