Chucks chân không

Chucks chân không Semicorex là các giải pháp được thiết kế chính xác được thiết kế để cung cấp khả năng xử lý an toàn, ổn định và hiệu quả của các tấm wafer trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn. Các mâm cặp chân không này chủ yếu được sử dụng để giữ các tấm wafer trong các giai đoạn xử lý khác nhau, đảm bảo thiệt hại tối thiểu cho các tấm wafer, độ ổn định tối đa và hiệu quả quy trình nâng cao. Chucks chân không của chúng tôi có sẵn trong một loạt các vật liệu cơ bản và đĩa gốm, cung cấp các giải pháp phù hợp để đáp ứng nhu cầu đa dạng của ngành công nghiệp bán dẫn và các ngành công nghiệp chính xác khác.

Các tính năng và vật liệu chính

Semicorex cung cấp một loạt các tùy chọn vật liệu cơ bản cho Chuck chân không, cho phép tùy chỉnh dựa trên các yêu cầu ứng dụng cụ thể:

Vật liệu cơ bản:

• SUS430: Một vật liệu cơ sở bằng thép không gỉ được biết đến với sức mạnh và khả năng chống ăn mòn, mang lại sự ổn định cơ học tuyệt vời.
• Hợp kim nhôm 6061: Nhẹ nhưng mạnh mẽ, cơ sở nhôm này cung cấp khả năng chống ăn mòn cao và là lý tưởng cho các ứng dụng trong đó trọng lượng là một mối quan tâm.
• Alumina gốm (99% alumina): cung cấp độ ổn định nhiệt cao và khả năng chống mài mòn. Đây là một lựa chọn tuyệt vời cho môi trường có độ chính xác cao trong đó điện trở nhiệt là rất quan trọng.
• Đá granit: Được biết đến với độ cứng và các đặc tính rung động vượt trội, đá granit cung cấp sự ổn định và độ chính xác tuyệt vời trong quá trình xử lý wafer.
• Gốm silicon cacbua (sic): cung cấp độ cứng cao, độ dẫn nhiệt và khả năng chống ăn mòn hóa học. Nó là hoàn hảo cho môi trường nhiệt độ cao và tích cực.

Tấm gốm:

Alumina (Al₂O₃): Các tấm alumina được biết đến với tính chất cách nhiệt cao, điện trở hao mòn và độ ổn định nhiệt độ cao. Chúng phù hợp cho các môi trường trong đó ô nhiễm tối thiểu và hiệu suất cao là rất quan trọng.

Silicon cacbua (SIC): Các tấm gốm sic cung cấp độ cứng đặc biệt, độ dẫn nhiệt cao và độ ổn định ở nhiệt độ cao, làm cho chúng lý tưởng cho các quy trình xử lý wafer tiên tiến trong sản xuất chất bán dẫn.

Độ chính xác bằng phẳng và lựa chọn vật liệu

Độ phẳng của bề mặt Chuck là một yếu tố quan trọng trong việc đảm bảo xử lý wafer thích hợp và kết quả quá trình tối ưu. Sự lựa chọn vật chất ảnh hưởng đến độ chính xác độ phẳng, cũng như trọng lượng tổng thể và tính chất nhiệt của mâm cặp chân không.

Độ chính xác bằng phẳng:

Hợp kim nhôm 6061: Cung cấp độ phẳng tuyệt vời với độ chính xác, làm cho nó trở thành một lựa chọn phổ biến cho các nhiệm vụ xử lý wafer ít đòi hỏi hơn.

SUS430: Trong khi cung cấp độ ổn định cơ học rắn, SUS430 có độ chính xác phẳng thấp hơn một chút so với hợp kim nhôm.

Alumina gốm (99% alumina): cung cấp độ chính xác độ phẳng tốt nhất do độ ổn định chiều cao của nó dưới nhiệt độ cao và căng thẳng cơ học.

Granit: Được biết đến với sự ổn định của nó, đá granit cung cấp độ phẳng chính xác, đặc biệt là trong môi trường nhạy cảm với rung động.

Silicon cacbua gốm: cung cấp độ chính xác độ phẳng nổi bật và là lý tưởng để xử lý wafer chính xác cao trong các ứng dụng nhiệt độ cao.

Cân nhắc cân nặng

Trọng lượng của mâm cặp chân không là một yếu tố quan trọng khác, đặc biệt đối với các ứng dụng trong đó việc xử lý và thao tác dễ dàng của Chuck là một sự cân nhắc quan trọng.