Half Moon trên

Semicorex Upper Half Moon là một hãng wafer hình bán nguyệt được thiết kế tỉ mỉ cho thiết bị xử lý epiticular. Là một thành phần nhạy cảm quan trọng trong quá trình tăng trưởng epiticular, phần này được thiết kế để hỗ trợ và ổn định các tấm silicon trong quá trình lắng đọng hơi hóa học nhiệt độ cao (CVD). Được sản xuất từ than chì độ tinh khiết cao và được bảo vệ bằng lớp phủ cacbua silicon (SIC) đồng nhất, nửa mặt trăng trên kết hợp độ bền cơ học, độ dẫn nhiệt tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn đặc biệt để đáp ứng nhu cầu của epitaxy chính xác cao.

Sản phẩm này có được tên của nó từ hình học nửa mặt trăng riêng biệt của nó, được xây dựng có mục đích cho các nền tảng quay cụ thể trong các lò phản ứng epiticular đơn hoặc đa năng. Hình dạng độc đáo của nó không chỉ tạo điều kiện cho dòng khí đồng nhất và phân phối nhiệt mà còn cho phép tích hợp dễ dàng vào các tổ hợp nhiệt và xoay hiện có. Thiết kế hình bán nguyệt đảm bảo định vị wafer tối ưu, giảm thiểu ứng suất nhiệt và đóng vai trò chính trong việc đạt được độ dày màng epiticular thống nhất trên toàn bộ bề mặt wafer.

Sản phẩm Half Moon trên bao gồm một chất nền của than chì siêu mịn do lợi ích hiệu suất kết hợp của cấu trúc cực kỳ ổn định ở nhiệt độ cực cao kết hợp với khả năng chống lại sự cố trong các lần chạy lặp đi lặp lại. Để mở rộng sử dụng, lớp phủ sic dày đặc có độ tinh khiết cao được áp dụng bởi công nghệ lắng đọng hơi hóa học, phân lập chất nền than chì từ HCl, CL₂, Silane và các khí xử lý ăn mòn khác. Bất kể, lớp phủ SIC thúc đẩy một cuộc sống bền bỉ hơn và có thể kéo dài hơn cho cả sản phẩm nửa mặt trăng trên và các bộ phận trong tổng số của nó trong khi thậm chí giảm ô nhiễm môi trường wafer, cuối cùng mang lại lợi ích cho năng suất quá trình và chất lượng phim.

Bề mặt hoàn thiện của lớp SIC đã được chỉ định và phẳng hoặc mịn để thúc đẩy sự truyền nhiệt không đổi sang chất nền và sự hình thành màng không đổi. Hơn nữa, lớp phủ SIC giúp cải thiện khả năng kháng thành phần đối với việc tạo ra các hạt là yếu tố chính của các ứng dụng bán dẫn nhạy cảm khiếm khuyết. Các thông số hiệu suất bao gồm vượt trội rất thấp và biến dạng rất thấp trên 1200 ° C cung cấp các thành phần hiệu quả cho các chu kỳ hoạt động rất dài, giảm thời gian ngừng hoạt động của hệ thống và chi phí bảo trì.

Half Moon Upper Semicorex đứng thứ hai không liên quan đến dung sai, tính đồng nhất của lớp phủ và lựa chọn vật liệu. Chúng tôi duy trì kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt ở mỗi bước, từ gia công than chì, đến sự lắng đọng của lớp phủ sic và kiểm tra cuối cùng, đảm bảo mọi đơn vị đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt cần thiết của thiết bị cấp bán dẫn. Hơn nữa, kinh nghiệm của chúng tôi trong việc tùy chỉnh hình học, độ dày và phương pháp điều trị bề mặt được công nhận được áp dụng cho hầu hết các hình thức của nền tảng epitaxy.

Half Moon trên là cực kỳ quan trọng đối với sự ổn định của wafer, tính đồng nhất nhiệt và kiểm soát ô nhiễm đối với silicon hoặc epitaxy bán dẫn hợp chất. Theo đó, Semicorex tận dụng chuyên môn, công nghệ vật chất và tính nhất quán sản xuất để đạt được kỳ vọng của khách hàng đối với các thành phần nhạy cảm hiệu suất cao, đáng tin cậy.