Chất nhạy cảm than chì Semicorex được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epit Wax có khả năng chịu nhiệt và ăn mòn cao ở Trung Quốc. Các chất nhạy cảm với Chất nền GaN-on-SiC của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Chất mang wafer GaN-on-SiC được sử dụng trong các giai đoạn lắng đọng màng mỏng hoặc xử lý xử lý wafer phải chịu được nhiệt độ cao và làm sạch bằng hóa chất khắc nghiệt. Semicorex cung cấp chất nhạy cảm GaN-on-SiC được phủ SiC có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, độ đồng đều nhiệt cho độ dày và khả năng chống chịu của lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ. Lớp phủ tinh thể SiC mịn mang lại bề mặt sạch, mịn, rất quan trọng cho việc xử lý vì các tấm bán dẫn nguyên sơ tiếp xúc với chất nhạy cảm ở nhiều điểm trên toàn bộ khu vực của chúng.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Chất nhạy cảm GaN-on-SiC của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng ổn định và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của chất nhạy cảm cơ chất GaN-on-SiC
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC |
|
Tỉ trọng |
g/cm³ |
3.21 |
độ cứng |
Độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
mm |
2~10 |
Độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Công suất nhiệt |
J kg-1 K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh cảm giác |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun của Young |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Độ dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của chất nhạy cảm với chất nền GaN-on-SiC
- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc ở nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy được phủ cacbua silic dùng cho nuôi cấy đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự chênh lệch về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả chất nền than chì và lớp cacbua silic đều có tính dẫn nhiệt cao và đặc tính phân bổ nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.