Semicorex graphite susceptor được thiết kế đặc biệt cho thiết bị epitaxy có khả năng chống ăn mòn và nhiệt độ cao ở Trung Quốc. Chất nền GaN-on-SiC của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
GaN-on-SiC Chất mang wafer chất nền được sử dụng trong các giai đoạn lắng đọng màng mỏng hoặc xử lý xử lý wafer phải chịu được nhiệt độ cao và quá trình tẩy rửa hóa học khắc nghiệt. Semicorex cung cấp chất nhạy cảm GaN-on-SiC Substrate được phủ SiC có độ tinh khiết cao mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, đồng đều nhiệt cho độ dày và độ bền của lớp epi nhất quán, cũng như khả năng kháng hóa chất lâu bền. Lớp phủ tinh thể SiC mịn mang lại bề mặt nhẵn, sạch, rất quan trọng để xử lý vì các tấm wafer nguyên sơ tiếp xúc với chất nhạy cảm tại nhiều điểm trên toàn bộ khu vực của chúng.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Chất nhạy cảm GaN-on-SiC Substrate của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng nhất quán và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Các thông số của chất nền GaN-on-SiC
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của chất nhạy cảm cơ chất GaN-on-SiC
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có mật độ tốt và có thể đóng vai trò bảo vệ tốt trong môi trường làm việc có nhiệt độ cao và ăn mòn.
- Chất nhạy phủ cacbua silic dùng cho tăng trưởng đơn tinh thể có độ phẳng bề mặt rất cao.
- Giảm sự khác biệt về hệ số giãn nở nhiệt giữa lớp nền than chì và lớp cacbua silic, cải thiện hiệu quả độ bền liên kết để ngăn ngừa nứt và tách lớp.
- Cả lớp nền than chì và lớp cacbua silic đều có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Điểm nóng chảy cao, chống oxy hóa ở nhiệt độ cao, chống ăn mòn.