Thụ thể SiC Epi-wafer

Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp quy mô lớn Chất nhạy cảm than chì phủ silicon cacbua tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. SiC Epi-Wafer Susceptor của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Semicorex cung cấp SiC Epi-Wafer Susceptor được phủ MOCVD dùng để hỗ trợ các tấm bán dẫn. Cấu trúc than chì được phủ cacbua silic (SiC) có độ tinh khiết cao của chúng mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, thậm chí là độ đồng đều nhiệt để có độ dày và độ bền lớp epi nhất quán cũng như khả năng kháng hóa chất bền bỉ. Lớp phủ tinh thể SiC mịn mang lại bề mặt sạch, mịn, rất quan trọng cho việc xử lý vì các tấm bán dẫn nguyên sơ tiếp xúc với chất nhạy cảm ở nhiều điểm trên toàn bộ khu vực của chúng.
Bộ cảm biến SiC Epi-Wafer của chúng tôi được thiết kế để đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất, đảm bảo độ đồng đều của cấu hình nhiệt. Điều này giúp ngăn ngừa bất kỳ sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nào, đảm bảo sự tăng trưởng epiticular chất lượng cao trên chip wafer.
Hãy liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Thiết bị cảm biến SiC Epi-Wafer của chúng tôi.

Các thông số của chất nhạy cảm SiC Epi-Wafer

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300

Các tính năng của Bộ cảm biến SiC Epi-Wafer

Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt
Được phủ tinh thể SiC mịn cho bề mặt mịn
Độ bền cao chống lại việc làm sạch bằng hóa chất
Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra hiện tượng nứt và tách lớp.