Cảm biến với lưới

Semicorex Susceptor with Grid là thành phần chuyên dụng được sử dụng trong quá trình tăng trưởng epiticular của các tấm bán dẫn. Thiết bị quan trọng này được thiết kế để mang và hỗ trợ các tấm bán dẫn trong quá trình lắng đọng vật liệu trong hệ thống lắng đọng hơi hóa học hữu cơ kim loại (MOCVD). Susceptor with Grid đóng vai trò then chốt trong việc đảm bảo sự phát triển đồng đều và có kiểm soát của các lớp epiticular trên tấm bán dẫn.

Bộ cảm biến có lưới được chế tạo bằng vật liệu được tối ưu hóa cho chức năng của nó. Trong trường hợp này, nó được làm bằng than chì phủ MOCVD SiC (Cacbua silic lắng đọng hơi hóa chất kim loại-hữu cơ). Sự lựa chọn vật liệu này mang lại một số lợi thế, bao gồm khả năng chịu nhiệt độ cao, tính ổn định hóa học và tính dẫn nhiệt tuyệt vời. Lớp phủ SiC trên than chì giúp tăng cường độ bền và khả năng chống chịu của chất nhạy cảm với các điều kiện khắc nghiệt gặp phải trong quá trình tăng trưởng epiticular.

Cấu trúc Susceptor with Grid đóng vai trò như một cơ chế hỗ trợ cho các tấm bán dẫn. Nó được thiết kế một cách chiến lược để giữ các tấm wafer an toàn tại chỗ đồng thời cho phép dòng khí lưu thông hiệu quả và lắng đọng vật liệu đồng đều. Mô hình lưới giúp phân phối nhiệt và chất phản ứng đồng đều trên bề mặt wafer, góp phần kiểm soát chính xác độ dày và thành phần của lớp epitaxy.

Semicorex Susceptor with Grid là một thành phần quan trọng trong quy trình sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến. Cấu trúc chắc chắn và thiết kế chuyên dụng khiến nó trở thành công cụ thiết yếu để đạt được tốc độ tăng trưởng epiticular chất lượng cao, đảm bảo sản xuất chất bán dẫn với hiệu suất và độ tin cậy vượt trội.