Đĩa thu

Được chế tạo từ than chì có độ tinh khiết cao và phủ một lớp cacbua silic (SiC) bằng kỹ thuật MOCVD, Đĩa nhạy cảm Semicorex kết hợp các đặc tính nhiệt đặc biệt với độ ổn định hóa học vượt trội. Lớp phủ cacbua silic đảm bảo khả năng chống chịu tuyệt vời với nhiệt độ cao và các điều kiện ăn mòn, rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của Đĩa nhạy cảm trong môi trường đầy thách thức.

Ngoài ra, lớp phủ SiC trên Đĩa nhạy cảm giúp tăng cường tính dẫn nhiệt của nó, cho phép phân phối nhiệt nhanh và đều, rất quan trọng để tăng trưởng epiticular nhất quán. Nó hấp thụ và tỏa nhiệt hiệu quả, cung cấp nhiệt độ ổn định, đồng đều cần thiết cho quá trình lắng đọng màng mỏng. Tính đồng nhất này rất quan trọng để đạt được các lớp epiticular chất lượng cao, là nền tảng cho chức năng và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn tiên tiến.

Thiết kế của Đĩa nhạy cảm cũng giải quyết thách thức giãn nở nhiệt. Hệ số giãn nở nhiệt tối thiểu của nó đảm bảo liên kết chắc chắn với các lớp epiticular, giảm nguy cơ nứt do chu trình nhiệt. Tính năng này, cùng với điểm nóng chảy cao và khả năng chống oxy hóa tuyệt vời của Đĩa nhạy cảm, cho phép vận hành đáng tin cậy trong các điều kiện khắc nghiệt.

Với những đặc tính tiên tiến này, Susceptor Disc không chỉ đáp ứng mà còn vượt qua các yêu cầu nghiêm ngặt của các ứng dụng MOCVD hiện đại, cung cấp giải pháp hiệu suất cao, đáng tin cậy giúp nâng cao hiệu quả và sản lượng tổng thể của quá trình tăng trưởng epiticular.