Phụ tùng thay thế trong tăng trưởng epiticular

Phụ tùng Semicorex trong Tăng trưởng Epiticular là cực kỳ quan trọng, đặc biệt đối với các quy trình liên quan đến việc thiết lập ống thạch anh. Những bộ phận này rất cần thiết trong việc tạo điều kiện thuận lợi cho dòng khí điều khiển quá trình quay của đế khay và đảm bảo kiểm soát nhiệt độ chính xác trong suốt quá trình tăng trưởng epiticular. Phụ tùng Semicorex trong Tăng trưởng epiticular, thường được gọi là một nửa bộ phận, được thiết kế tỉ mỉ để chịu được nhiệt độ cao và môi trường ăn mòn vốn có trong buồng tăng trưởng epiticular. Được chế tạo từ Silicon Carbide (SiC), chúng mang lại độ ổn định nhiệt và hóa học đặc biệt, khiến chúng trở thành lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi khắt khe như vậy. Việc sử dụng SiC đảm bảo rằng các bộ phận này có khả năng chịu được cả những điều kiện khó khăn nhất.

Phụ tùng thay thế trong Epiticular Growth giống hình dạng của mặt trăng lưỡi liềm, được thiết kế để vừa khít bên trong cụm ống thạch anh. Cấu hình hình bán nguyệt độc đáo của chúng cho phép dễ dàng lắp và tháo chúng khỏi hệ thống, tạo điều kiện thuận lợi cho các quy trình bảo trì và thay thế hiệu quả và chính xác.

Phụ tùng trong Tăng trưởng Epitaxy phục vụ nhiều mục đích. Đầu tiên, chúng hỗ trợ việc phân phối có kiểm soát các loại khí cần thiết cho quá trình tăng trưởng epiticular. Bằng cách điều chỉnh tốc độ dòng khí và sự phân bố, chúng đảm bảo sự lắng đọng đồng đều của vật liệu bán dẫn trên bề mặt đế, điều này rất quan trọng để đạt được các đặc tính vật liệu và hiệu suất thiết bị mong muốn.

Phụ tùng trong Tăng trưởng Epitaxy góp phần vào chuyển động quay của đế khay trong buồng tăng trưởng. Vòng quay này có vai trò then chốt trong việc thúc đẩy sự phân bố đồng đều của các vật liệu lắng đọng, ngăn ngừa sự hình thành các điểm bất thường hoặc khuyết tật trong các lớp epitaxy.