Vòng tập trung cacbua silic rắn

Vòng lấy nét cacbua silic rắn Semicorex là thành phần quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, được đặt ở vị trí chiến lược bên ngoài tấm bán dẫn để duy trì tiếp xúc trực tiếp. Bằng cách sử dụng điện áp đặt vào, vòng này tập trung plasma đi qua nó, từ đó nâng cao tính đồng nhất của quy trình trên tấm bán dẫn. Được chế tạo hoàn toàn từ Silicon Carbide lắng đọng hơi hóa học (CVD SiC), vòng lấy nét này thể hiện những phẩm chất đặc biệt mà ngành công nghiệp bán dẫn yêu cầu. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Vòng lấy nét cacbua silic rắn hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Trong chế tạo chất bán dẫn, Vòng lấy nét cacbua silic rắn Semicorex đóng vai trò quan trọng bằng cách hoạt động như một tấm chắn, bảo vệ tính toàn vẹn của tấm bán dẫn trong quá trình ăn mòn. Thiết kế được thiết kế tỉ mỉ của nó đảm bảo khả năng khắc chính xác và đồng đều, từ đó tạo điều kiện thuận lợi cho việc sản xuất các phần tử bán dẫn có độ phức tạp cao, thể hiện hiệu suất và độ tin cậy vượt trội.

Cacbua silic là vật liệu được lựa chọn cho vòng lấy nét do khả năng chống ăn mòn plasma vượt trội khi tiếp xúc với plasma trong buồng phản ứng chân không. Vòng lấy nét cacbua silic rắn vượt trội hơn silicon truyền thống ở một số khía cạnh, bao gồm:

(1) Mật độ cao giúp giảm thiểu tốc độ ăn mòn.

(2) Khoảng cách dải vượt trội và đặc tính cách nhiệt tuyệt vời.

(3) Độ dẫn nhiệt vượt trội, hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng chống sốc nhiệt.

(4) Độ đàn hồi cao cùng với khả năng chống chịu tác động cơ học tuyệt vời.

(5) Độ cứng vượt trội, chống mài mòn và chống ăn mòn.

Độ dẫn điện và khả năng chống ăn mòn ion của cacbua silic tương tự như silicon, khiến Vòng tập trung cacbua silic rắn trở thành vật liệu lý tưởng cho ứng dụng này.

Vòng lấy nét cacbua silic rắn Semicorex là một giải pháp tiên tiến trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Nó tận dụng các đặc tính độc đáo của CVD SiC để tạo điều kiện thuận lợi cho các quy trình ăn mòn hiệu suất cao, đáng tin cậy, góp phần đáng kể vào sự tiến bộ của công nghệ bán dẫn.