Đầu vòi sen CVD có lớp phủ SiC

Được chế tạo từ than chì có độ tinh khiết cao và được bao bọc trong một lớp SiC mỏng thông qua phương pháp CVD, đầu vòi hoa sen CVD với lớp phủ SiC kết hợp các đặc tính ưu việt của cả than chì và SiC. Sức mạnh tổng hợp này tạo ra một thành phần không chỉ vượt trội trong việc đảm bảo phân phối khí ổn định và chính xác mà còn có khả năng phục hồi vượt trội trước các điều kiện khắc nghiệt về nhiệt và hóa học thường gặp trong môi trường lắng đọng.

Chức năng then chốt của đầu vòi hoa sen CVD với SiC Coat là khả năng phân tán đồng đều các khí tiền chất trên bề mặt nền, một nhiệm vụ đạt được nhờ vị trí chiến lược phía trên bề mặt và thiết kế tỉ mỉ các lỗ nhỏ hoặc vòi phun xuyên qua bề mặt của nó. Sự phân bố đồng đều này là mấu chốt để đạt được kết quả lắng đọng nhất quán.

Việc lựa chọn SiC làm vật liệu phủ cho đầu vòi hoa sen CVD có lớp phủ SiC không phải là tùy ý mà dựa trên tính dẫn nhiệt vượt trội và độ ổn định hóa học của nó. Những đặc tính này rất cần thiết để giảm thiểu sự tích tụ nhiệt trong quá trình lắng đọng và duy trì nhiệt độ đồng đều trên bề mặt, ngoài ra còn mang lại khả năng bảo vệ mạnh mẽ chống lại các khí ăn mòn và các điều kiện khắc nghiệt điển hình cho các quy trình CVD.

Được thiết kế để đáp ứng nhu cầu cụ thể của các hệ thống CVD khác nhau và yêu cầu quy trình, thiết kế của vòi hoa sen CVD với SiC Coat bao gồm một tấm hoặc hình dạng đĩa được trang bị một loạt các lỗ hoặc khe được tính toán tỉ mỉ. đầu vòi hoa sen CVD với thiết kế của SiC Coat đảm bảo không chỉ phân phối khí đồng đều mà còn đảm bảo tốc độ dòng chảy tối ưu cần thiết cho quá trình lắng đọng, làm nổi bật vai trò của thành phần như một trụ cột trong việc theo đuổi độ chính xác và tính đồng nhất trong quá trình lắng đọng vật liệu.