Đầu vòi CVD-SiC

Đầu vòi sen Semicorex CVD-SiC cung cấp độ bền, khả năng quản lý nhiệt tuyệt vời và khả năng chống lại sự xuống cấp của hóa chất, khiến nó trở thành lựa chọn phù hợp cho các quy trình CVD đòi hỏi khắt khe trong ngành công nghiệp bán dẫn. Semicorex cam kết cung cấp sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Trong ngữ cảnh của vòi hoa sen CVD, vòi hoa sen CVD-SiC thường được thiết kế để phân phối đồng đều các khí tiền chất trên bề mặt chất nền trong quá trình CVD. Đầu vòi hoa sen thường được đặt phía trên bề mặt và các khí tiền chất chảy qua các lỗ nhỏ hoặc vòi phun trên bề mặt của nó.

Vật liệu CVD-SiC được sử dụng trong đầu vòi hoa sen mang lại một số ưu điểm. Độ dẫn nhiệt cao của nó giúp tản nhiệt sinh ra trong quá trình CVD, đảm bảo phân bố nhiệt độ đồng đều trên bề mặt. Ngoài ra, tính ổn định hóa học của SiC cho phép nó chịu được các loại khí ăn mòn và môi trường khắc nghiệt thường gặp trong các quy trình CVD.

Thiết kế của vòi hoa sen CVD-SiC có thể khác nhau tùy thuộc vào yêu cầu quy trình và hệ thống CVD cụ thể. Tuy nhiên, nó thường bao gồm một tấm hoặc thành phần hình đĩa với một loạt các lỗ hoặc rãnh được khoan chính xác. Mô hình lỗ và hình học được thiết kế cẩn thận để đảm bảo tốc độ dòng chảy và phân phối khí đồng đều trên bề mặt chất nền.