Nhà cung cấp wafer silicon

Semicorex cung cấp gốm sứ bán dẫn cho các công cụ bán chế tạo OEM và các bộ phận xử lý tấm bán dẫn tập trung vào các lớp cacbua silic trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và nhà cung cấp Silicon Wafer Carrier trong nhiều năm. Nhà cung cấp wafer Silicon của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Quá trình lắng đọng chất bán dẫn sử dụng sự kết hợp của các loại khí tiền chất dễ bay hơi, plasma và nhiệt độ cao để tạo lớp màng mỏng chất lượng cao lên các tấm bán dẫn. Buồng lắng đọng và công cụ xử lý tấm bán dẫn cần các bộ phận bằng gốm bền để chống chọi với những môi trường đầy thách thức này.
Semicorex Silicon Wafer Carrier là silicon cacbua có độ tinh khiết cao, có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao cũng như tính dẫn nhiệt tuyệt vời.

Các thông số của chất mang wafer silicon

Đặc tính kỹ thuật
chỉ mục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Cacbua silic thiêu kết phản ứng	Cacbua silic thiêu kết không áp lực	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
Mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Cái nút	2700	2800	/
Độ bền phá vỡ	MPa m1/2	4.5	4	/
Độ dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	Gpa	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của nhà cung cấp wafer silicon

Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt
Được phủ tinh thể SiC mịn cho bề mặt mịn
Độ bền cao chống lại việc làm sạch bằng hóa chất
Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra hiện tượng nứt và tách lớp.

Các hình dạng có sẵn của gốm sứ cacbua silic:

● Que gốm/pin gốm/piston gốm

● Ống gốm / ống lót gốm / ống bọc gốm

● Vòng gốm/vòng đệm gốm/miếng đệm gốm

● Đĩa sứ

● Tấm gốm/khối gốm

● Bóng gốm

● Piston gốm

● Đầu phun gốm

● Nồi nấu bằng gốm

● Các bộ phận gốm tùy chỉnh khác