Chất mang wafer silicon

Semicorex cung cấp gốm cấp chất bán dẫn cho các công cụ bán chế tạo OEM của bạn và các thành phần xử lý tấm bán dẫn tập trung vào các lớp cacbua silic trong ngành công nghiệp bán dẫn. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và nhà cung cấp của Nhà cung cấp wafer Silicon trong nhiều năm. Nhà cung cấp wafer Silicon của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Các quy trình lắng đọng chất bán dẫn sử dụng sự kết hợp của khí tiền chất dễ bay hơi, plasma và nhiệt độ cao để tạo lớp màng mỏng chất lượng cao lên các tấm wafer. Buồng lắng đọng và công cụ xử lý tấm bán dẫn cần các thành phần gốm bền để chịu được những môi trường đầy thách thức này.
Semicorex Silicon Wafer Carrier là silicon carbide có độ tinh khiết cao, có đặc tính chống ăn mòn và chịu nhiệt cao cũng như khả năng dẫn nhiệt tuyệt vời.

Các thông số của chất mang wafer silicon

Thuộc tính kỹ thuật
Mục lục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Phản ứng thiêu kết cacbua silic	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Knoop	2700	2800	/
Phá vỡ độ bền	MPa m1/2	4.5	4	/
Dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	điểm trung bình	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để thấm Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do co rút tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt nghiêm ngặt hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau dưới PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của chất mang wafer silicon

Than chì phủ SiC có độ tinh khiết cao
Khả năng chịu nhiệt vượt trội & tính đồng nhất nhiệt
Tinh thể SiC mịn được phủ cho bề mặt nhẵn
Độ bền cao chống hóa chất tẩy rửa
Vật liệu được thiết kế để không xảy ra các vết nứt và tách lớp.

Hình dạng có sẵn của gốm sứ cacbua silicï¼

â Thanh gốm / chốt gốm / pít tông gốm

â Ống gốm / ống lót gốm / ống bọc gốm

â Vòng gốm / máy giặt gốm / miếng đệm gốm

â Đĩa sứ

â Tấm gốm / khối gốm

â Bóng gốm

â Pít-tông gốm

â Vòi gốm

â Chén gốm

â Các bộ phận gốm tùy chỉnh khác