Thuyền wafer silicon carbide

Semicorex thiết kế gốm cấp chất bán dẫn cho các công cụ bán chế tạo OEM và các bộ phận xử lý tấm bán dẫn của bạn. Thuyền wafer silicon carbide của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường châu Âu và châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thuyền wafer silicon carbide của Semicorex, có độ tinh khiết cực cao (lên đến 99,99%), khả năng chống plasma và khả năng chịu nhiệt tuyệt vời, đồng thời hạn chế sự xuất hiện của hạt, được sử dụng trong các bộ phận của thiết bị xử lý chất bán dẫn, bao gồm các thành phần cấu trúc và công cụ.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp Thuyền wafer cacbua silicon chất lượng cao, tiết kiệm chi phí, chúng tôi ưu tiên sự hài lòng của khách hàng và cung cấp các giải pháp tiết kiệm chi phí. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng cao và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Thuyền wafer silicon carbide của chúng tôi.

Các thông số của thuyền wafer silicon carbide

Thuộc tính kỹ thuật
Mục lục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Phản ứng thiêu kết cacbua silic	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Knoop	2700	2800	/
Phá vỡ độ bền	MPa m1/2	4.5	4	/
Dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	điểm trung bình	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để thấm Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do co rút tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt nghiêm ngặt hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau dưới PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của thuyền wafer silicon carbide

Khả năng chịu nhiệt vượt trội & tính đồng nhất nhiệt
Tinh thể SiC mịn được phủ cho bề mặt nhẵn
Độ bền cao chống hóa chất tẩy rửa
Vật liệu được thiết kế để không xảy ra các vết nứt và tách lớp.