Silicon cacbua chân không

Chuck chân không silicon silicon silicon là một phần quan trọng của sản xuất chất bán dẫn cho các quy trình cần độ chính xác cao và ô nhiễm thấp. Các mâm cặp chân không được chế tạo từ gốm silicon xốp có độ tinh khiết cao và cung cấp độ bền cơ học tuyệt vời, độ dẫn nhiệt và trơ hóa hóa học, và có cấu trúc lỗ rỗng được kiểm soát chính xác để giữ chân không đáng tin cậy. Chuck chân không silicon cacbua là một thiết bị hấp phụ chức năng được làm từ vật liệu gốm silicon cacbua (SiC), dựa vào áp suất âm chân không, hấp phụ tĩnh điện hoặc kẹp cơ học để cung cấp khả năng nắm bắt ổn định. Chucks chân không đã sử dụng trong chất bán dẫn, quang điện, sản xuất chính xác và các ứng dụng khác có nhu cầu cực kỳ cao về khả năng chống nhiệt độ cao, khả năng chống mài mòn và độ sạch của vật liệu.

Cơ sở củaChucklà một vật liệu sic xốp, có độ thẩm thấu không khí có thể dự đoán được trên bề mặt của nó. Điều này có nghĩa là có thể hấp thụ một wafer một cách an toàn mà không cần kẹp cơ học và do đó không quan trọng hóa khả năng gây thiệt hại vật lý hoặc ô nhiễm của mẫu. Độ xốp của vật liệu được kiểm soát chặt chẽ - thường có độ xốp 35-40% - để cung cấp phân phối chân không thích hợp nhưng cũng đáp ứng các yêu cầu cấu trúc cho việc đạp xe nhiệt và cơ học bền.

Wafer chân khôngthường được làm bằng một bề mặt cứng với nhiều lỗ nhỏ hoặc kênh trên bề mặt. Thông qua các lỗ nhỏ này, mâm cặp có thể được kết nối với bơm chân không, tạo ra hiệu ứng chân không. Khi wafer được đặt trên mâm cặp, máy bơm chân không được bật và không khí được hút qua các lỗ nhỏ, tạo ra một khoảng trống giữa wafer và mâm cặp. Hiệu ứng chân không này tạo ra đủ lực hút để gắn chặt wafer vào bề mặt chuck.

Bề mặt gốm thường được sử dụng trong các ứng dụng đòi hỏi độ tinh khiết và ổn định hóa học cao. Gốm sứ là các vật liệu được sản xuất bởi sự hợp nhất nhiệt độ cao của khoáng chất. Nói chung, gốm sứ là chất cách điện điện hoặc chất bán dẫn và có khả năng chống phân tích nhiệt, xói mòn và thiệt hại cao.

Semicorex xây dựng mâm cặp chân không silicon tùy chỉnh cho các thông số kỹ thuật của khách hàng cho những thứ như kích thước, độ xốp, hoàn thiện bề mặt và các mẫu để kênh chân không. Kết quả của khả năng sản xuất và phòng sạch của chúng tôi, chúng tôi cung cấp tốt nhất trong việc rụng hạt và sạch sẽ để đáp ứng các yêu cầu về độ sạch của tất cả các nhà sản xuất thiết bị và FAB bán dẫn.

Chúng ta có thể tạo ra một mâm cặp cho bất kỳ wafer kích thước nào, từ wafer 2 inch đến 12 inch và thích nghi để tích hợp mâm cặp vào rất nhiều thiết bị xử lý wafer. Nó có thể được sử dụng cho các quy trình phía trước và/hoặc các quy trình back-end, làm cho việc điều chỉnh chân không SIC trở thành một phương tiện hỗ trợ wafer không có kinh tế, chính xác, ổn định và ô nhiễm trong quy trình làm việc FAB bán dẫn.

Chuck chân không silicon cacbua là một công cụ thiết yếu trong sản xuất chất bán dẫn ngày nay, kết hợp các vật liệu và kỹ thuật tốt nhất. Độ tin cậy bền và bám dính thông qua các thái cực nhiệt và hóa học làm cho nó trở thành sự hỗ trợ hoàn hảo trong các ứng dụng xử lý bao gồm, tẩy lông, mỏng, làm sạch và RTA. Bằng cách mua sắm mâm cặp chân không silicon của bạn thông qua semicorex, bạn đảm bảo độ tinh khiết vật liệu tốt nhất, giải pháp tùy chỉnh và hiệu suất đáng tin cậy cho kết quả vượt trội trên tất cả các dòng xử lý wafer của bạn.