Semicorex là nhà sản xuất và cung cấp gốm phủ Silicon Carbide quy mô lớn tại Trung Quốc. Chúng tôi tập trung vào các ngành công nghiệp bán dẫn như lớp cacbua silic và chất bán dẫn epitaxy. Phốt cơ khí cacbua silic của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn.
Phốt cơ khí cacbua silic phải hoạt động trong các điều kiện khó khăn, bao gồm tốc độ, nhiệt độ và áp suất cao, trong khi vẫn có khả năng chống ăn mòn và mài mòn. Phốt cơ khí silicon cacbua kỹ thuật Semicorex có độ bền, độ cứng, độ bền uốn, độ cứng và khả năng chống ăn mòn tối ưu cho các bề mặt phốt cơ khí. Chúng đặc biệt thích hợp cho các cụm phốt khí khô cần độ lệch thấp khi ở tốc độ cao và độ giãn nở nhiệt thấp khi ở nhiệt độ cao.
Các thông số của phốt cơ khí silicon cacbua
Đặc tính kỹ thuật |
||||
chỉ mục |
Đơn vị |
Giá trị |
||
Tên vật liệu |
Cacbua silic thiêu kết phản ứng |
Cacbua silic thiêu kết không áp suất |
Cacbua silic kết tinh lại |
|
Thành phần |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Mật độ lớn |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Độ bền uốn |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
cường độ nén |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
độ cứng |
Cái nút |
2700 |
2800 |
/ |
Độ bền phá vỡ |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Độ dẫn nhiệt |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hệ số giãn nở nhiệt |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Nhiệt dung riêng |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Nhiệt độ tối đa trong không khí |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Mô đun đàn hồi |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:
1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.
2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.
3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC
Các tính năng của phốt cơ khí silicon cacbua
- Tránh bong tróc và đảm bảo phủ đều trên mọi bề mặt
Độ tinh khiết cao: được tạo ra bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ
- Đạt được mô hình dòng khí tầng tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của profile nhiệt
- Ngăn chặn mọi sự ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất
Các hình dạng có sẵn của gốm sứ cacbua silic:
● Que gốm/pin gốm/piston gốm
● Ống gốm / ống lót gốm / ống bọc gốm
● Vòng gốm/vòng đệm gốm/miếng đệm gốm
● Đĩa sứ
● Tấm gốm/khối gốm
● Bóng gốm
● Piston gốm
● Đầu phun gốm
● Nồi nấu bằng gốm
● Các bộ phận gốm tùy chỉnh khác