Vòng tập trung silicon cacbua

Vòng tập trung cacbua silicthường được lắp đặt trong buồng phản ứng của thiết bị khắc, được đặt xung quanh bề mặt đỡ wafer của mâm cặp tĩnh điện. Sự sắp xếp lắp đặt này có thể lấp đầy thành công sự chênh lệch chiều cao giữa cạnh tấm bán dẫn và điện cực, tập trung plasma trong buồng phản ứng lên bề mặt tấm bán dẫn để đạt được sự khắc đồng nhất và cũng ngăn chặn sự khuếch tán của plasma ra ngoài từ cạnh tấm bán dẫn để tránh vấn đề khắc quá mức vào cạnh tấm bán dẫn.

Các thành phần khắc chất lượng cao có thể cung cấp môi trường điện trường ổn định cho quá trình khắc. Vòng lấy nét cacbua silic của Semicorex được sản xuất từ ​​vật liệu hiệu suất caovật liệu cacbua silicthông qua lắng đọng hơi hóa học. Vòng lấy nét của chúng tôi có khả năng điều chỉnh sự phân bổ điện trường xung quanh tấm bán dẫn, giảm đáng kể độ lệch ăn mòn hoặc hiện tượng phóng điện do điện trường không đều gây ra.

Các tấm bán dẫn rất dễ bị nhiễm các hạt nhỏ nên quá trình ăn mòn plasma phải được thực hiện trong các buồng phản ứng ăn mòn ion siêu sạch. Là thành phần chính của thiết bị khắc, các vòng lấy nét bằng cacbua silic tiếp xúc trực tiếp với mép tấm bán dẫn trong hoạt động thực tế, cũng được yêu cầu phải đáp ứng các tiêu chuẩn về độ sạch cực cao. Vòng lấy nét cacbua silic của Semicorex mang lại ưu điểm về độ tinh khiết cao và hàm lượng tạp chất thấp, có thể đáp ứng chính xác các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch của quy trình khắc chất bán dẫn. Điều này góp phần rất lớn vào việc giảm các khuyết tật của tấm bán dẫn và cải thiện năng suất sản xuất tấm bán dẫn.

Trong quá trình ăn mòn plasma, các khí ăn mòn như flo và oxy được đưa vào buồng phản ứng. Khả năng chống ăn mòn hóa học của thiết bị khắc bị thách thức nghiêm trọng do sự ăn mòn lâu dài do khí xử lý gây ra. Với đặc tính chống ăn mòn plasma vượt trội, cacbua silic là lựa chọn vật liệu tối ưu để sản xuất vòng lấy nét. Bằng cách giảm khả năng hư hỏng thành phần liên quan đến ăn mòn và giảm thiểu nhu cầu thay thế và bảo trì thường xuyên, các vòng lấy nét bằng cacbua silic có thể làm tăng đáng kể hiệu quả của quá trình sản xuất tấm bán dẫn.