Thuyền wafer gốm silicon carbide

Semicorex cung cấp thuyền wafer, bệ đỡ và giá đỡ wafer tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và nằm ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon carbide trong nhiều năm. Thuyền wafer gốm cacbua silic của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường châu Âu và châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thuyền bán dẫn gốm cacbua silic Semicorex, giải pháp tối ưu để xử lý và bảo vệ wafer trong sản xuất chất bán dẫn.
Thuyền wafer gốm cacbua silic của chúng tôi được làm từ vật liệu chất lượng cao được phủ một lớp cacbua silic (SiC) sử dụng phương pháp CVD, có khả năng chống ăn mòn tốt và khả năng chống nhiệt độ cao và sốc nhiệt tuyệt vời. Gốm tiên tiến mang lại khả năng chịu nhiệt tuyệt vời và độ bền plasma đồng thời giảm thiểu các hạt và chất gây ô nhiễm cho chất mang wafer công suất cao.

Các thông số của thuyền wafer gốm silicon carbide

Thuộc tính kỹ thuật
Mục lục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Phản ứng thiêu kết cacbua silic	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Knoop	2700	2800	/
Phá vỡ độ bền	MPa m1/2	4.5	4	/
Dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	điểm trung bình	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để thấm Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do co rút tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt nghiêm ngặt hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau dưới PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của thuyền wafer gốm silicon carbide

Khả năng chịu nhiệt vượt trội & tính đồng nhất nhiệt
Tinh thể SiC mịn được phủ cho bề mặt nhẵn
Độ bền cao chống hóa chất tẩy rửa
Vật liệu được thiết kế để không xảy ra các vết nứt và tách lớp.