Thuyền wafer gốm silicon cacbua

Semicorex cung cấp thuyền bán dẫn, bệ và giá đỡ bán bán dẫn tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon cacbua trong nhiều năm. Thuyền wafer gốm cacbua silic của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Thuyền bán dẫn gốm cacbua silic Semicorex, giải pháp tối ưu để xử lý và bảo vệ bán dẫn trong sản xuất chất bán dẫn.
Thuyền wafer gốm cacbua silic của chúng tôi được làm từ vật liệu chất lượng cao phủ một lớp cacbua silic (SiC) sử dụng phương pháp CVD, có khả năng chống ăn mòn tốt và chịu được nhiệt độ cao và sốc nhiệt tuyệt vời. Gốm tiên tiến mang lại khả năng chịu nhiệt tuyệt vời và độ bền plasma đồng thời giảm thiểu các hạt và chất gây ô nhiễm cho các chất mang wafer công suất cao.

Các thông số của thuyền wafer gốm silicon cacbua

Đặc tính kỹ thuật
chỉ mục	Đơn vị	Giá trị
Tên vật liệu		Cacbua silic thiêu kết phản ứng	Cacbua silic thiêu kết không áp suất	Cacbua silic kết tinh lại
Thành phần		RBSiC	SSiC	R-SiC
Mật độ lớn	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Độ bền uốn	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C) 90-100(1400°C)
cường độ nén	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
độ cứng	Cái nút	2700	2800	/
Độ bền phá vỡ	MPa m1/2	4.5	4	/
Độ dẫn nhiệt	W/m.k	95	120	23
Hệ số giãn nở nhiệt	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Nhiệt dung riêng	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Nhiệt độ tối đa trong không khí	℃	1200	1500	1600
Mô đun đàn hồi	Gpa	360	410	240

Sự khác biệt giữa SSiC và RBSiC:

1. Quá trình thiêu kết là khác nhau. RBSiC là để đưa Si tự do vào cacbua silic ở nhiệt độ thấp, SSiC được hình thành do sự co ngót tự nhiên ở 2100 độ.

2. SSiC có bề mặt mịn hơn, mật độ cao hơn và độ bền cao hơn, đối với một số chất bịt kín có yêu cầu bề mặt khắt khe hơn, SSiC sẽ tốt hơn.

3. Thời gian sử dụng khác nhau với độ PH và nhiệt độ khác nhau, SSiC dài hơn RBSiC

Các tính năng của thuyền wafer gốm silicon cacbua

Khả năng chịu nhiệt vượt trội và độ đồng đều nhiệt
Được phủ tinh thể SiC mịn cho bề mặt mịn
Độ bền cao chống lại việc làm sạch bằng hóa chất
Vật liệu được thiết kế sao cho không xảy ra hiện tượng nứt và tách lớp.