Gốm cacbua siliccác mái chèo thường được lắp đặt gần cửa lò hoặc buồng xử lý, với một đầu cố định và đầu kia kéo dài vào lò hoặc buồng xử lý. Trong quá trình vận hành, các cánh gốm silicon cacbua định vị chính xác giá đỡ tấm bán dẫn mang các tấm bán dẫn tại vị trí được chỉ định bên trong lò nung hoặc buồng xử lý. Sau khi xử lý, các cánh tay đúc hẫng sẽ lấy vật mang và di chuyển nó ra khỏi lò hoặc buồng và giao nó cho cánh tay robot để thực hiện giai đoạn xử lý tiếp theo.

Ưu điểm của mái chèo gốm cacbua silicon Semicorex

1. Đặc tính vượt trội và chất lượng đáng tin cậy

Cánh khuấy bằng gốm cacbua silic Semicorex mang lại độ ổn định nhiệt độ cao tuyệt vời, độ bền cao, độ cứng cao, độ ổn định hóa học và hệ số giãn nở nhiệt thấp. Với những đặc tính ưu việt này, cánh khuấy gốm cacbua silic Semicorex có thể chịu được lâu dài các điều kiện vận hành đầy thách thức, chẳng hạn như nhiệt độ cao, ăn mòn nghiêm trọng, tải nặng và vận hành cơ học thường xuyên.

2. Hỗ trợ và vận chuyển chính xác

Dựa vào hiệu suất hỗ trợ và vận chuyển tuyệt vời, Semicorexmái chèo gốm silicon cacbuacó thể cố định chính xác các tấm mang bán dẫn tại chỗ để đảm bảo độ đồng tâm của các tấm bán dẫn so với ống lò, giúp giảm đáng kể sự không nhất quán trong quy trình do rung lắc và lệch tấm bán dẫn trong quá trình.

3. Vận hành tự động hiệu quả cao

Cánh khuấy bằng gốm cacbua silic Semicorex thường hoạt động kết hợp với hệ thống tải và xử lý tự động bằng rô-bốt để đạt được khả năng tải và dỡ tấm bán dẫn nhanh chóng. Điều này rút ngắn đáng kể các chu kỳ quy trình trong sản xuất chất bán dẫn và quang điện, cải thiện hiệu quả sản xuất và giảm chi phí vận hành thủ công cũng như rủi ro lỗi.

Các ứng dụng của mái chèo gốm cacbua silicon Semicorex

1. Sản xuất tế bào quang điện

Mái chèo gốm cacbua silicon Semicorex rất phù hợp với các quá trình nhiệt của tế bào quang điện, chẳng hạn như khuếch tán, LPCVD và PECVD của tế bào TOPCon và PERC. Bằng cách đạt được tính đồng nhất và ổn định của quy trình, những mái chèo này góp phần cải thiện hiệu suất chuyển đổi tế bào quang điện.

2. Sản xuất chip bán dẫn

Đóng vai trò là thành phần hỗ trợ và vận chuyển thiết yếu, các cánh gốm cacbua silic Semicorex được ứng dụng rộng rãi hơn trong các quy trình như in thạch bản, khắc và lắng đọng trong quá trình sản xuất chip bán dẫn, cho phép truyền ổn định liên tục và định vị chính xác các tấm bán dẫn.