Mái chèo đúc hẫng bằng gốm silicon cacbua

Mái chèo đúc hẫng bằng gốm cacbua silicon Semicorex là thành phần cấu trúc đúc hẫng hiệu suất cao, được sản xuất chính xác bằng cacbua silic có độ tinh khiết cao. Cánh khuấy đúc hẫng bằng gốm cacbua silic của chúng tôi là giải pháp tối ưu để vận chuyển và vận chuyển các tấm bán dẫn, được thiết kế đặc biệt để chế tạo tấm bán dẫn tiên tiến và sản xuất tế bào quang điện.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Dấu chấm phẩymái chèo đúc hẫng bằng gốm silicon cacbuađược tạo ra bằng cách thiêu kết ở nhiệt độ cao thân xanh in 3D một bước, sau đó là xử lý lớp phủ thông qua lắng đọng hơi hóa học. Trong quá trình vận hành thực tế, cánh khuấy bằng gốm cacbua silic được kích hoạt bởi hệ thống tự động hóa cơ học để chuyển các bộ phận mang wafer vào và ra khỏi thiết bị xử lý nhiệt độ cao một cách trơn tru và ổn định (như lò oxy hóa, lò khuếch tán, lò CVD, v.v.). Các thành phần cacbua silic này có thể đảm bảo độ chính xác đồng tâm giữa các tấm bán dẫn và ống lò một cách hiệu quả, do đó đảm bảo tính đồng nhất và ổn định của quy trình trong các quá trình quan trọng như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng hơi hóa học.

Hiệu suất của mái chèo đúc hẫng bằng gốm Semicorex Silicon Carbide

1. Hiệu suất ô nhiễm thấp:

Dấu chấm phẩycacbua silicmái chèo đúc hẫng bằng gốm, được xử lý bằng phương pháp xử lý có độ chính xác cao, đạt tiêu chuẩn không bụi và không hạt. Ma trận của chúng có hàm lượng tạp chất được kiểm soát chặt chẽ dưới 300PPM và hàm lượng tạp chất của lớp phủ cacbua silic CVD thậm chí còn thấp hơn 5PPM.

2. Độ ổn định nhiệt độ cao:

Do khả năng chịu nhiệt độ cao và chống sốc nhiệt tuyệt vời của cacbua silic, cánh đúc hẫng bằng gốm cacbua silic Semicorex có thể duy trì lâu dài sự ổn định cấu trúc của chúng ở nhiệt độ cao lên tới 1250°C mà không bị biến dạng, mềm đi hoặc bị hư hỏng do nhiệt độ cao.

3. Khả năng chịu tải vượt trội:

Mái chèo đúc hẫng bằng gốm cacbua silicon Semicorex mang lại khả năng chịu tải vượt trội nhờ thiết kế cấu trúc độc đáo và đặc tính vật liệu vượt trội (độ bền cơ học và độ cứng cao). Khả năng tải vượt trội này cho phép chúng chịu được trọng lượng của những mẻ bánh bán dẫn lớn để đáp ứng nhu cầu sản xuất hàng loạt, giúp cải thiện hiệu quả hiệu quả xử lý hàng loạt bánh bán dẫn.

4. Khả năng chống ăn mòn vượt trội:

Mái chèo đúc hẫng bằng gốm cacbua silicon Semicorex thể hiện khả năng chống ăn mòn tuyệt vời đối với oxy, clo và các chất ăn mòn khác có ở nhiệt độ cao trong quy trình sản xuất chất bán dẫn và quang điện. Hiệu suất vượt trội này rất quan trọng để đảm bảo quy trình sản xuất vận hành trơn tru bằng cách tránh tổn thất và thời gian do hư hỏng cánh khuấy bằng gốm cacbua silic.