Thuyền silicon cacbua

Thuyền silicon silicon Semicorex thể hiện sự ổn định nhiệt đặc biệt, cho phép chúng chịu được nhiệt độ khắc nghiệt cần thiết cho các quá trình oxy hóa và khuếch tán. Điện trở sốc nhiệt tuyệt vời của họ giảm thiểu nguy cơ nứt hoặc biến dạng, đảm bảo tuổi thọ hoạt động kéo dài. Thành phần SIC mật độ cao cung cấp cường độ cơ học vượt trội, duy trì tính toàn vẹn cấu trúc ngay cả khi đi xe đạp nhiệt liên tục. Sự kháng cự đặc biệt này đối với căng thẳng cơ học làm giảm khả năng ô nhiễm wafer và vỡ, góp phần vào năng suất quá trình cao hơn. Hơn nữa, các thuyền SIC sở hữu khả năng kháng hóa chất nổi bật, vẫn trơ vào các khí quá trình tích cực được sử dụng trong các bước oxy hóa và khuếch tán. Đặc điểm này ngăn chặn các phản ứng không mong muốn có thể làm tổn hại đến độ tinh khiết và hiệu quả sản xuất.

Thuyền silicon cacbua chủ yếu được sử dụng trong các lò oxy hóa và khuếch tán, trong đó kiểm soát chính xác tiếp xúc với nhiệt độ cao và khí phản ứng là rất cần thiết. Chúng hỗ trợ các tấm wafer trong quá trình oxy hóa nhiệt để phát triển các lớp silicon dioxide chất lượng cao và tạo điều kiện cho việc pha tạp đồng đều thông qua việc tiếp xúc với khí dopant có kiểm soát. Ngoài ra, họ cung cấp một nền tảng ổn định để ủ và các phương pháp điều trị nhiệt độ cao khác đòi hỏi phải tiếp xúc với nhiệt kéo dài.

So với các thuyền thạch anh và than chì truyền thống, thuyền cacbua silicon cung cấp độ bền, tuổi thọ và hiệu suất chưa từng có. Khả năng của họ để chịu được môi trường nhiệt và hóa học khắc nghiệt trong khi giảm thiểu ô nhiễm làm cho chúng trở thành lựa chọn ưa thích cho sản xuất chất bán dẫn có độ chính xác cao. Tập trung vào chất lượng và sự đổi mới, các thuyền cacbua silicon của chúng tôi mang lại hiệu suất vượt trội, đảm bảo năng suất cao và xử lý wafer hiệu quả cho các nhà sản xuất chất bán dẫn trên toàn thế giới. Cho dù đối với các công nghệ nút tiên tiến hoặc chế tạo chất bán dẫn kế thừa, những chiếc thuyền này cung cấp một giải pháp đáng tin cậy để đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt của ngành.

.

. Điều này giúp đảm bảo rằng nhiệt độ và tốc độ phản ứng của từng phần của wafer vẫn nhất quán trong quá trình xử lý nhiệt, do đó cải thiện năng suất và chất lượng của wafer.

Hiện tại có ba loại chính củaSilicon cacbua gốmVật liệu: thiêu kết phản ứng, thiêu kết không áp lực và thiêu kết kết tinh lại. Trong hầu hết các ứng dụng, phản ứng silicon cacbua là một sản phẩm phù hợp và hiệu quả hơn về chi phí. Các thuyền SIC kết tinh thường thiêu kết và xử lý một số bộ phận đơn vị trước, sau đó sử dụng SI Paste để kết hợp các bộ phận thành một chiếc thuyền ở nhiệt độ cao, và cuối cùng áp dụng lớp phủ CVD-SIC (khoảng 100um). Vì sự kết tinh lại là xốp, nếu không có lớp phủ SIC, nó cũng sẽ đưa các phần vào quá trình bán dẫn. Loại thuyền SIC kết tinh này với lớp phủ CVD-SIC có quy trình sản xuất lâu nhất và rất đắt tiền. So với thuyền than chì được phủ SIC, các thuyền SIC được phủ kết lại CVD-SIC không có vấn đề không phù hợp CTE.