Khay bánh xốp SiC

Khay bán dẫn Semicorex SiC, hoạt động như một bộ phận chính trong thiết bị MOCVD, giữ và quản lý nhiệt các chất nền đơn tinh thể. Các đặc tính hiệu suất vượt trội của nó, bao gồm độ ổn định nhiệt và tính đồng nhất vượt trội cũng như khả năng ức chế ăn mòn, v.v., rất quan trọng cho sự phát triển chất lượng cao của vật liệu epiticular. Những thuộc tính này đảm bảo tính đồng nhất và độ tinh khiết nhất quán trong các lớp màng mỏng.

Được cải tiến với lớp phủ SiC, khay bán dẫn SiC cải thiện đáng kể độ dẫn nhiệt, tạo điều kiện phân phối nhiệt nhanh chóng và đồng đều, rất quan trọng để tăng trưởng epiticular đồng đều. Khả năng hấp thụ và tỏa nhiệt hiệu quả của khay bán dẫn SiC giúp duy trì nhiệt độ ổn định và nhất quán, cần thiết cho quá trình lắng đọng chính xác của màng mỏng. Sự phân bố nhiệt độ đồng đều này rất quan trọng để tạo ra các lớp epiticular chất lượng cao, rất cần thiết cho hiệu suất của các thiết bị bán dẫn tiên tiến.

Hiệu suất đáng tin cậy và tuổi thọ của Khay wafer SiC giúp giảm tần suất thay thế, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và chi phí bảo trì. Cấu trúc chắc chắn và khả năng vận hành vượt trội của nó nâng cao hiệu quả quy trình, từ đó tăng năng suất và hiệu quả chi phí trong sản xuất chất bán dẫn.

Ngoài ra, Khay wafer Semicorex SiC có khả năng chống oxy hóa và ăn mòn tuyệt vời ở nhiệt độ cao, đảm bảo hơn nữa độ bền và độ tin cậy của nó. Độ bền nhiệt cao của nó, được đánh dấu bằng điểm nóng chảy đáng kể, cho phép nó chịu được các điều kiện nhiệt khắc nghiệt vốn có trong quy trình chế tạo chất bán dẫn.