Giá đỡ wafer SiC

Giá đỡ tấm wafer Semicorex SiC được làm bằng cacbua silic có độ tinh khiết cao, thể hiện tính ổn định nhiệt, độ bền cơ học và khả năng kháng hóa chất tuyệt vời. Những vật liệu này được chọn để giảm thiểu ô nhiễm, tránh làm hỏng các tấm bán dẫn và chịu được các điều kiện khắt khe của quá trình xử lý chất bán dẫn.

Trong các quá trình nhiệt, chẳng hạn như ủ hoặc khuếch tán, giá đỡ tấm bán dẫn SiC đóng một vai trò quan trọng trong việc duy trì sự phân bố nhiệt độ đồng đều trên bề mặt tấm bán dẫn. Độ dẫn nhiệt cao của nó cho phép truyền nhiệt hiệu quả, giảm thiểu chênh lệch nhiệt và đảm bảo kết quả quy trình nhất quán.

Giá đỡ tấm bán dẫn SiC thường được thiết kế để phù hợp với các kích thước tấm bán dẫn cụ thể, từ vài inch đến đường kính lớn hơn, tùy thuộc vào ứng dụng. Chúng có thể có nhiều giá đỡ được sắp xếp trong một băng cassette hoặc giá đỡ để tạo điều kiện xử lý hàng loạt và tăng thông lượng.

Giá đỡ tấm bán dẫn SiC Semicorex là một công cụ quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, cung cấp một nền tảng an toàn và ổn định cho các tấm bán dẫn silicon carbide trong suốt các bước xử lý khác nhau. Thiết kế và thành phần vật liệu của nó đảm bảo tính toàn vẹn của wafer, tạo điều kiện phân phối nhiệt độ đồng đều và cho phép xử lý và xử lý wafer hiệu quả.