Thuyền bánh xốp SiC

Thuyền bán dẫn Semicorex SiC, được chế tạo từ gốm Silicon Carbide (SiC), dẫn đầu trong việc đáp ứng nhu cầu của ngành bán dẫn bằng cách mang lại hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao. Khi ngành công nghiệp bán dẫn không ngừng vượt qua các ranh giới của chế tạo vi mô, nhu cầu về vật liệu bền và đàn hồi trở nên tối quan trọng.

Thuyền wafer SiC đóng một vai trò quan trọng trong việc giữ và hỗ trợ nhiều tấm wafer trong các quá trình nhiệt như khuếch tán, oxy hóa và lắng đọng hơi hóa học (CVD). Các quy trình này liên quan đến việc đưa các tấm bán dẫn vào nhiệt độ cực cao, thường vượt quá 1000°C, trong môi trường được kiểm soát. Tính đồng nhất và nhất quán của các phương pháp xử lý nhiệt này là rất quan trọng để đảm bảo chất lượng và hiệu suất của các thiết bị bán dẫn được sản xuất. Khả năng Thuyền bán dẫn SiC chịu được nhiệt độ cao như vậy mà không bị biến dạng hoặc xuống cấp đảm bảo rằng các tấm bán dẫn được xử lý đồng nhất, dẫn đến hiệu suất và năng suất thiết bị vượt trội.

Khả năng dẫn nhiệt đặc biệt của các tấm bán dẫn SiC đảm bảo sự phân bổ nhiệt đều trên tất cả các tấm bán dẫn, giảm thiểu nguy cơ chênh lệch nhiệt độ có thể dẫn đến khuyết tật trong các thiết bị bán dẫn. Hơn nữa, hệ số giãn nở nhiệt (CTE) thấp của SiC dẫn đến sự giãn nở và co lại nhiệt ở mức tối thiểu trong các chu kỳ làm nóng và làm mát. Sự ổn định này rất quan trọng để ngăn ngừa ứng suất cơ học và hư hỏng tiềm tàng đối với các tấm bán dẫn, đặc biệt là khi hình học của thiết bị bị thu hẹp.

Trong quá trình xử lý nhiệt, các tấm bán dẫn tiếp xúc với nhiều loại khí phản ứng khác nhau có thể tương tác với các vật liệu của thuyền bán dẫn SiC. Khả năng kháng hóa chất tuyệt vời của SiC đảm bảo rằng nó không phản ứng với các loại khí này, ngăn ngừa ô nhiễm và đảm bảo độ tinh khiết của tấm bán dẫn. Điều này đặc biệt quan trọng trong việc sản xuất các thiết bị bán dẫn tiên tiến, trong đó ngay cả một lượng ô nhiễm nhỏ cũng có thể dẫn đến lỗi và làm giảm độ tin cậy của thiết bị.