Semicorex cung cấp thuyền wafer, bệ đỡ và giá đỡ wafer tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon carbide trong nhiều năm. Thuyền wafer SiC của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Giới thiệu Thuyền bán dẫn SiC chất lượng cao của chúng tôi, được thiết kế để cung cấp giải pháp đáng tin cậy cho quá trình xử lý bán dẫn trong các ngành công nghiệp khác nhau. Các bệ gốm này được sản xuất bằng gốm có độ tinh khiết cao, mang lại khả năng chống sốc nhiệt, mài mòn và ăn mòn hóa học tuyệt vời, khiến chúng trở nên lý tưởng cho môi trường xử lý wafer khắc nghiệt.
Thuyền wafer SiC của chúng tôi cũng có khả năng tùy biến cao và chúng tôi có thể làm việc với bạn để tạo các bệ tùy chỉnh nhằm đáp ứng các thông số kỹ thuật độc đáo của bạn. Chúng tôi tự hào về khả năng cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, đáng tin cậy, đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Thuyền wafer gốm của chúng tôi được chế tạo để tồn tại lâu dài và có tuổi thọ cao, đảm bảo rằng bạn nhận được giá trị cao nhất từ khoản đầu tư của mình.
Đặt hàng ngay bây giờ và trải nghiệm những lợi ích của Thuyền bán dẫn SiC chất lượng cao của chúng tôi trong các hoạt động xử lý bánh bán dẫn của bạn.
Các thông số của thuyền wafer SiC
Thuộc tính kỹ thuật |
||||
Mục lục |
Đơn vị |
Giá trị |
||
Tên vật liệu |
Phản ứng thiêu kết cacbua silic |
Cacbua silic thiêu kết không áp suất |
Cacbua silic kết tinh lại |
|
Thành phần |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
mật độ lớn |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Độ bền uốn |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C)90-100(1400°C) |
Cường độ nén |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
độ cứng |
Knoop |
2700 |
2800 |
/ |
Phá vỡ độ bền |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Dẫn nhiệt |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hệ số giãn nở nhiệt |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Nhiệt dung riêng |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Nhiệt độ tối đa trong không khí |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Mô đun đàn hồi |
điểm trung bình |
360 |
410 |
240 |
Các tính năng của thuyền wafer SiC
- Lớp phủ CVD Silicon Carbide để cải thiện tuổi thọ.
- Lớp cách nhiệt làm bằng carbon cứng tinh khiết hiệu suất cao.
- Có tính dẫn nhiệt cao, và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Lớp phủ gốm và SiC có độ tinh khiết cao giúp chống lại lỗ kim và tuổi thọ cao hơn