Semicorex cung cấp thuyền bán dẫn, bệ và giá đỡ bán bán dẫn tùy chỉnh cho cả cấu hình dọc/cột và ngang. Chúng tôi đã là nhà sản xuất và cung cấp màng phủ silicon cacbua trong nhiều năm. Thuyền wafer SiC của chúng tôi có lợi thế về giá tốt và bao phủ hầu hết các thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Giới thiệu Thuyền wafer SiC chất lượng cao của chúng tôi, được thiết kế để cung cấp giải pháp đáng tin cậy để xử lý wafer trong các ngành công nghiệp khác nhau. Những bệ gốm này được sản xuất bằng gốm có độ tinh khiết cao, có khả năng chống sốc nhiệt, mài mòn và ăn mòn hóa học tuyệt vời, khiến chúng trở nên lý tưởng cho môi trường xử lý wafer khắc nghiệt.
Thuyền wafer SiC của chúng tôi cũng có khả năng tùy biến cao và chúng tôi có thể hợp tác với bạn để tạo ra các bệ tùy chỉnh nhằm đáp ứng các thông số kỹ thuật riêng của bạn. Chúng tôi tự hào về khả năng cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, đáng tin cậy, đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Thuyền wafer gốm của chúng tôi được chế tạo để tồn tại lâu dài và có thời gian sử dụng lâu dài, đảm bảo rằng bạn nhận được giá trị cao nhất từ khoản đầu tư của mình.
Đặt hàng ngay bây giờ và trải nghiệm những lợi ích của Thuyền wafer SiC chất lượng cao của chúng tôi trong hoạt động xử lý wafer của bạn.
Thông số của thuyền wafer SiC
Đặc tính kỹ thuật |
||||
chỉ mục |
Đơn vị |
Giá trị |
||
Tên vật liệu |
Cacbua silic thiêu kết phản ứng |
Cacbua silic thiêu kết không áp suất |
Cacbua silic kết tinh lại |
|
Thành phần |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Mật độ lớn |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Độ bền uốn |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
cường độ nén |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
độ cứng |
Cái nút |
2700 |
2800 |
/ |
Độ bền phá vỡ |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Độ dẫn nhiệt |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Hệ số giãn nở nhiệt |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Nhiệt dung riêng |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Nhiệt độ tối đa trong không khí |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Mô đun đàn hồi |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Đặc điểm của thuyền wafer SiC
- Lớp phủ Silicon Carbide CVD để nâng cao tuổi thọ sử dụng.
- Cách nhiệt bằng cacbon cứng tinh khiết hiệu suất cao.
- Có độ dẫn nhiệt cao và đặc tính phân phối nhiệt tuyệt vời.
- Lớp phủ gốm và SiC có độ tinh khiết cao giúp chống lỗ kim và tuổi thọ cao hơn