SIC Chucks Chucks

Bán kếtCarbide siliconChuck chân không SIC là các công cụ gốm công nghệ cao được thiết kế để giữ một cách an toàn và đáng tin cậy để giữ các tấm bán dẫn trong các quy trình loại bỏ vật liệu chính xác. Chúng được thiết kế để sử dụng trong môi trường cực kỳ sạch sẽ, nhiệt độ cao và khắc nghiệt hóa học. SIC Vacuum Chucks giúp cung cấp sự hấp phụ và căn chỉnh wafer vượt trội. Chucks semicorex sic không được sản xuất từ gốm cacbua silicon có độ tinh khiết cao để cung cấp độ bền cơ học tuyệt vời, độ dẫn nhiệt và độ bền hóa học.

Công việc chính của mâm cặp chân không là kéo hút đồng đều trên bề mặt wafer để wafer được giữ ổn định trong các quá trình như kiểm tra, lắng đọng, khắc và in thạch bản. Chucks chân không điển hình có vấn đề với việc tạo ra hạt, cong vênh hoặc suy giảm hóa chất theo thời gian. Đối với các điều kiện sản xuất chất bán dẫn cực cao, các mucks chân không SIC sẽ cung cấp độ bền và độ ổn định dài hạn vượt trội.

Vật liệu cacbua silicon được đánh giá cao về độ cứng, độ ổn định nhiệt và hệ số giãn nở nhiệt thấp. Những vật liệu này sẽ vẫn ổn định về mặt kích thước trong một phạm vi nhiệt độ rộng, cho phép độ ổn định nhiệt và độ chính xác của quá trình được cải thiện mà không có sự không phù hợp với nhiệt. Độ dẫn nhiệt cao của chúng cũng cho phép tản nhiệt nhanh chóng, rất hữu ích trong các điều kiện tăng cường nhiệt nhanh hoặc tiếp xúc ngắn với các plasma năng lượng cao.

Sic gốm không chỉ có lợi ích nhiệt và cơ học mà còn chống lại sự ăn mòn trong huyết tương và khí quá trình tích cực. Tính năng này làm cho các mucks chân không SIC đặc biệt thuận lợi cho các quá trình khắc khô, CVD và PVD trong đó vật liệu thạch anh hoặc nhôm nitride có thể làm giảm sử dụng. Sự trơ hóa hóa học của SIC sẽ hỗ trợ hạn chế ô nhiễm và cải thiện thời gian hoạt động của công cụ.

Để cung cấp hiệu suất vượt trội. Semicorex tạo ra các mucks chân không SIC và chỉ định dung sai cực kỳ chặt chẽ với các bề mặt cực phù hợp với các cấu trúc kênh trong Update Micron's. Với các tính năng này, nó cung cấp hỗ trợ wafer với vùng hút chính xác và vùng hút liên tục để hỗ trợ wafer làm giảm cơ hội cong vênh hoặc vỡ của chính các tấm wafer. Các dịch vụ thiết kế tùy chỉnh cũng có sẵn để phù hợp với các kích thước wafer khác nhau (2 "đến 12") trong các ứng dụng khác nhau.

Khi năng suất cao hơn, kiểm soát quá trình và độ tin cậy là các yếu tố, các mâm cặp chân không SIC là các thành phần thiết yếu mới của thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo. Các ứng dụng của các chuck chân không SIC được gắn trực tiếp để tăng năng suất, độ tin cậy của thiết bị và kiểm soát xử lý.