Mâm cặp chân không SiC

Kẹp chân không Semicorex SiC là một công cụ được thiết kế đặc biệt để giữ các tấm bán dẫn một cách an toàn trong các giai đoạn xử lý quan trọng với độ ổn định và độ tin cậy tối đa. Lớp phủ CVD SiC của mâm cặp chân không SiC cung cấp độ bền cơ học đặc biệt, khả năng kháng hóa chất và độ ổn định nhiệt, đảm bảo rằng các tấm wafer mỏng manh được bảo vệ khỏi mọi hư hỏng hoặc ô nhiễm tiềm ẩn.

Sự kết hợp độc đáo giữa than chì và lớp phủ SiC của Đầu kẹp chân không SiC mang lại độ dẫn nhiệt cao và hệ số giãn nở nhiệt tối thiểu. Điều này cho phép tản nhiệt hiệu quả và phân bổ nhiệt độ đồng đều trên bề mặt wafer. Những tính năng này rất cần thiết để duy trì các điều kiện xử lý tối ưu và nâng cao năng suất trong quy trình chế tạo chất bán dẫn.

Mâm cặp chân không SiC cũng tương thích với môi trường chân không, đảm bảo độ bám dính vượt trội giữa mâm cặp và tấm bán dẫn. Điều này giúp loại bỏ nguy cơ trượt hoặc sai lệch trong các hoạt động có độ chính xác cao. Bề mặt không xốp và các đặc tính trơ của nó tiếp tục ngăn chặn bất kỳ sự thoát khí hoặc ô nhiễm hạt nào, bảo vệ sự tinh khiết và toàn vẹn của môi trường sản xuất chất bán dẫn.

Đầu kẹp chân không Semicorex SiC là công nghệ nền tảng trong sản xuất chất bán dẫn, mang lại hiệu suất và độ bền vượt trội nhằm đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của ngành. Cho dù được sử dụng trong in thạch bản, khắc, lắng đọng hay các quy trình quan trọng khác, giải pháp tiên tiến này vẫn tiếp tục xác định lại các tiêu chuẩn xuất sắc trong xử lý và xử lý tấm bán dẫn.