Ống sic

Các ống sic bán nguyệt (ống lò sic) là các thành phần cao cấp được sử dụng nhiều trong ngành công nghiệp bán dẫn vì sự ổn định nhiệt lý tưởng, cường độ cơ học và sức đề kháng cực độ đối với các hóa chất tích cực trong một loạt các ứng dụng. Các ống sic bán nguyệt đã được thiết kế để tồn tại trong các điều kiện khắc nghiệt nhất liên quan đến xử lý nhiệt độ cao. Các ống SIC rõ ràng là một vật liệu ưu tiên và vượt trội cho các lò khuếch tán, hệ thống LPCVD/PECVD và trong môi trường được sử dụng để tăng trưởng epiticular trong đó ô nhiễm vật liệu và vi phân nhiệt là những cân nhắc chính.

Các ống sic semicorex được sản xuất từ các loại bột sic có độ tinh khiết cực cao sử dụng các phương pháp thiêu kết tiên tiến và các kỹ thuật kiểm soát quá trình bảo tồn độ tinh khiết của SIC. Kết quả là các ống SIC có độ dẫn nhiệt tối ưu, đặc tính giãn nở nhiệt thấp và có trọng lượng phân bố dọc theo chiều dài của ống, giảm thiểu ứng suất nhiệt một cách hiệu quả, ngay cả khi tiếp xúc với chu kỳ nhiệt nhanh. Do đó, việc sử dụng các ống SiC cung cấp sự tôn trọng cao trong các quá trình nhiệt độ cao liên tục (lên tới 1600 ° C)-do đó đảm bảo tính đồng nhất trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn, tăng cường hiệu quả tổng thể trên các thang đo nhất quán.

Ưu điểm chính của SIC, là nó trơ hóa học. GP-4 gần như không xốp (tuân thủ phân loại ASTM-G654 GP-4) và không thể vượt qua khi nói đến khí chống ăn mòn và hóa chất phản ứng được sử dụng trong quá trình phát triển chất bán dẫn của họ. Độ ổn định kích thước và tăng thời gian dịch vụ trong khi giảm thiểu sự suy giảm thông lượng liên quan đến thay đổi và thay thế ống. Những lợi ích chính cho sản xuất chất bán dẫn là rõ ràng; Sử dụng các ống SIC có thể giảm tổng chi phí sở hữu giảm phạm vi từ vài tuần hoặc thậm chí vài tháng trong khi vẫn duy trì độ tin cậy vì nó liên quan đến các quy trình công nghiệp.

Các ống sic semicorex có nhiều đường kính, chiều dài và thông số kỹ thuật tùy chỉnh để phù hợp với các thiết kế lò khác và yêu cầu xử lý khác nhau. Các bề mặt bên trong có thể được đánh bóng, giúp cải thiện độ sạch, giảm sự tạo ra hạt và là một chi tiết quan trọng trong các không gian bán dẫn siêu sạch. Việc sử dụng các ống sic bán nguyệt có thể giúp giảm nguy cơ ô nhiễm và góp phần tăng năng suất wafer với dung sai chặt chẽ và cải thiện chất lượng bề mặt.

Chuyên môn SICorex SIC bao gồm nhiều năm xử lý cacbua silicon với trọng tâm là kỹ thuật chính xác và kiểm soát chất lượng để đáp ứng các tiêu chuẩn chất lượng nghiêm ngặt và đòi hỏi khắt khe của ngành công nghiệp bán dẫn. Các ống của chúng tôi được kiểm tra và xác nhận với các cuộc kiểm tra, rất quan trọng để đảm bảo độ tinh khiết, mật độ và hoạt động trong các môi trường nhiệt cực đoan nhất. Semicorex cũng cung cấp hỗ trợ kỹ thuật và các tùy chọn thiết kế tùy chỉnh để hỗ trợ tối ưu hóa hệ thống lò cho các ứng dụng cụ thể.

Cho dù chip logic sản xuất, thiết bị năng lượng hoặc quang điện tử, các ống SICorex SIC trình bày một lựa chọn đáng tin cậy, bền bỉ để xử lý nhiệt độ cao. Bằng cách chọn semicorex, bạn không chỉ đảm bảo hiệu quả mà còn là quy trình hiệu quả, ổn định dài hạn để chế tạo chất bán dẫn.