Đầu vòi hoa sen SiC

Đầu vòi hoa sen Semicorex SiC là một thành phần thiết yếu trong quá trình tăng trưởng epiticular, được thiết kế đặc biệt để nâng cao tính đồng nhất và hiệu quả của quá trình lắng đọng màng mỏng trên các tấm bán dẫn. Đầu vòi hoa sen SiC được chế tạo từ Silicon Carbide (SiC) số lượng lớn. Được biết đến với khả năng dẫn nhiệt, độ bền cơ học và khả năng kháng hóa chất đặc biệt, Đầu vòi hoa sen SiC này đảm bảo hiệu suất tối ưu trong môi trường nhiệt độ cao và ăn mòn điển hình của lò phản ứng epiticular.

Hình dạng vòi hoa sen của Đầu vòi hoa sen SiC được thiết kế tỉ mỉ để tạo điều kiện phân phối đồng đều các khí tiền chất trên bề mặt tấm bán dẫn. Mảng lỗ khoan chính xác của nó cho phép dòng chảy được kiểm soát và nhất quán, điều này rất quan trọng để đạt được các lớp epiticular chất lượng cao với độ dày và thành phần đồng đều. Thiết kế này giảm thiểu các phản ứng ở pha khí và tạo hạt, góp phần mang lại năng suất wafer và hiệu suất thiết bị vượt trội.

Lý tưởng để sử dụng trong cả môi trường nghiên cứu và sản xuất số lượng lớn, Đầu vòi hoa sen SiC nổi bật nhờ độ bền và độ tin cậy, giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động để bảo trì và chi phí vận hành. Khả năng tương thích của nó với các quy trình epiticular khác nhau, bao gồm cả quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD), làm cho nó trở thành tài sản linh hoạt và vô giá trong ngành sản xuất chất bán dẫn.