Sic Robot Hands

Bàn tay robot semicorex là ứng dụng chuyển đổi mới nhất trong các ứng dụng chuyển wafer robot trong lĩnh vực sản xuất chất bán dẫn. Được làm bằng vật liệu hiệu suất cao, chúng tôi đã thiết kế các bàn tay robot này với gốm silicon cacbua (SIC) để cung cấp lập bảng nhiệt tối đa, ổn định hóa học và sức mạnh cơ học cho môi trường ngày càng khắc phục hoặc xử lý.

Trọng tâm của tay robot sic của chúng tôi là tiên tiến của chúng tôiCarbide siliconĐược biết đến với độ cứng cao (MOHS 9), độ dẫn nhiệt cao và khả năng chống ăn mòn. Không giống như các vật liệu truyền thống như nhôm hoặc thép không gỉ, SIC tương thích với môi trường xử lý khắc nghiệt của các phòng làm sạch chất bán dẫn bao gồm nhiệt độ cao được xử lý và khí phản ứng. Chúng tôi cung cấp độ bền lâu dài và giảm thiểu ô nhiễm, phù hợp với độ tinh khiết nghiêm ngặt cần thiết cho sản xuất wafer.

Thiết bị bán dẫn với tay robot sic sử dụng lực hút áp suất âm để thu được wafer, tức là, wafer bán dẫn được hấp phụ trên thạch anh hoặc ngón tay gốm bằng cách sử dụng nguyên tắc cốc hút theo sau là vận chuyển bằng cách sử dụng một cánh tay hành động cơ học mở rộng, xoay và nâng chuyển động tương ứng.

"Tốc độ cao" và "Độ sạch" là các đặc điểm cốt lõi của thiết bị xử lý wafer bán dẫn. Để đáp ứng các đặc điểm này, thiết bị có các yêu cầu cực kỳ nghiêm ngặt về hiệu suất của các thành phần được sử dụng. Vì hầu hết các quá trình được thực hiện trong môi trường chân không, nhiệt độ cao và khí ăn mòn, nên cánh tay xử lý được sử dụng trong thiết bị phải có tính chất vật lý tuyệt vời, chẳng hạn như: cường độ cơ học cao, khả năng chống ăn mòn, kháng nhiệt độ cao, chống mài mòn, độ cứng cao, cách nhiệt, v.v., và vật liệu gốm nâng cao chỉ có thể đáp ứng các điều kiện này.

Gốm silicon cacbuaCó các tính chất vật lý của kết cấu dày đặc, độ cứng cao, khả năng chống mài mòn cao, cũng như khả năng chống nhiệt tốt, cường độ cơ học tuyệt vời, cách nhiệt tốt trong môi trường nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn tốt và các tính chất vật lý khác. Nó là một vật liệu tuyệt vời để chế tạo vũ khí xử lý thiết bị bán dẫn.

Nhận ra rằng các nền tảng robot khác nhau giữa các nhà sản xuất công cụ và FABS, tay robot sic của chúng tôi có sẵn trong một loạt các kích thước được tiêu chuẩn hóa và có thể được tùy chỉnh cho các cấu hình công cụ độc đáo. Giao diện lắp, hình học ngón tay và các tính năng hỗ trợ wafer có thể được điều chỉnh để đáp ứng các thiết bị cụ thể và nhu cầu quy trình. Cho dù bạn đang chuyển các tấm wafer trong các công cụ cụm, buồng chân không hoặc hệ thống Foup, robot của chúng tôi tích hợp liền mạch với các thương hiệu robot hàng đầu.

Mỗi người Robot SIC đều trải qua các quy trình làm sạch, kiểm tra và đóng gói nghiêm ngặt để đảm bảo tuân thủ các tiêu chuẩn phòng sạch lớp 1. Bề mặt không xốp, chống tĩnh của SIC làm giảm độ bám dính của hạt, trong khi cấu trúc mạnh mẽ chống lại các vi lọc có thể dẫn đến việc tạo hạt theo thời gian. Điều này làm cho chúng lý tưởng cho các quy trình wafer phía trước trong đó ngay cả sự ô nhiễm nhỏ nhất cũng có thể dẫn đến sự cố thiết bị.

Từ epitaxy và cấy ghép ion đến PVD, CVD và CMP, tay SIC Robot được tin cậy trong mỗi bước của chế tạo thiết bị bán dẫn. Điện trở vượt trội của chúng đối với sốc nhiệt và môi trường plasma làm cho chúng không thể thiếu trong các dòng chất bán dẫn logic và công suất tiên tiến, đặc biệt là nơi sử dụng chất nền SIC wafer.