SiC Process Tube là một lò phản ứng hình ống trong xử lý nhiệt để xử lý wafer. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Ống xử lý Semicorex SiC (Silicon Carbide) là thành phần chuyên dụng được sử dụng trong các quy trình xử lý nhiệt wafer, đặc biệt trong các ứng dụng yêu cầu nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn hoặc cả hai. Nó được thiết kế để cung cấp một môi trường bảo vệ và kiểm soát cho các tấm bán dẫn trong quá trình xử lý nhiệt hoặc xử lý nhiệt.
Ống xử lý được thiết kế cẩn thận để tạo ra một buồng kín, nơi đặt các tấm bán dẫn để xử lý nhiệt. Nó hoạt động như một rào cản, ngăn chặn sự tiếp xúc trực tiếp của tấm wafer với môi trường xung quanh. Sự cách ly này rất quan trọng để duy trì độ tinh khiết của không khí xử lý và bảo vệ các tấm bán dẫn khỏi bị ô nhiễm.
Bên trong ống xử lý SiC, quá trình xử lý nhiệt wafer diễn ra. Điều này có thể bao gồm các quá trình khác nhau như ủ, oxy hóa, khuếch tán và các phương pháp xử lý nhiệt khác cần thiết để sửa đổi các đặc tính của vật liệu wafer. Các đặc tính của ống, chẳng hạn như độ dẫn nhiệt cao và khả năng chống lại sự tấn công của hóa chất, giúp đảm bảo phân bổ nhiệt độ đồng đều và bảo vệ các tấm bán dẫn.
Ống xử lý SiC là thành phần quan trọng trong quy trình xử lý nhiệt wafer. Khả năng chịu nhiệt độ cao, độ trơ hóa học và khả năng tạo môi trường được kiểm soát của chúng đảm bảo thực hiện thành công các bước xử lý nhiệt, dẫn đến việc sản xuất các tấm bán dẫn chất lượng cao.