Ống xử lý SiC

Ống xử lý Semicorex SiC (Silicon cacbua) là một thành phần chuyên dụng được sử dụng trong các quy trình xử lý nhiệt wafer, đặc biệt là trong các ứng dụng yêu cầu nhiệt độ cao, môi trường ăn mòn hoặc cả hai. Nó được thiết kế để cung cấp một môi trường bảo vệ và kiểm soát cho các tấm bán dẫn mỏng trong quá trình xử lý nhiệt hoặc xử lý nhiệt.

Ống xử lý được thiết kế cẩn thận để tạo ra một buồng kín, nơi các tấm wafer được đặt để xử lý nhiệt. Nó hoạt động như một rào cản, ngăn cản sự tiếp xúc trực tiếp của các tấm wafer với môi trường xung quanh. Sự cách ly này là rất quan trọng để duy trì độ tinh khiết của môi trường xử lý và bảo vệ các tấm wafer khỏi bị nhiễm bẩn.

Bên trong ống xử lý SiC, quá trình xử lý nhiệt wafer diễn ra. Điều này có thể bao gồm các quy trình khác nhau như ủ, oxy hóa, khuếch tán và các phương pháp xử lý nhiệt khác cần thiết để sửa đổi các đặc tính của vật liệu wafer. Các đặc tính của ống, chẳng hạn như tính dẫn nhiệt cao và khả năng chống lại sự tấn công của hóa chất, giúp đảm bảo phân phối nhiệt độ đồng đều và bảo vệ các tấm wafer.

Ống xử lý SiC là thành phần quan trọng trong quy trình xử lý nhiệt wafer. Khả năng chịu nhiệt độ cao, tính trơ hóa học và khả năng tạo môi trường được kiểm soát của chúng đảm bảo thực hiện thành công các bước xử lý nhiệt, dẫn đến việc sản xuất các tấm bán dẫn chất lượng cao.