Lớp lót ống xử lý SiC

Lớp lót ống xử lý SiC cung cấp một môi trường ổn định và trơ cho quá trình xử lý và phát triển các vật liệu bán dẫn, chẳng hạn như tấm silicon. Những lớp lót này thường được sử dụng bên trong vùng phản ứng của lò bán dẫn, nơi việc kiểm soát chính xác nhiệt độ, dòng khí và phản ứng hóa học là vô cùng quan trọng.

Lớp lót ống xử lý SiC được làm bằng cacbua silic chất lượng cao, được biết đến với tính dẫn nhiệt đặc biệt, độ bền cao và khả năng chống ăn mòn hóa học. Vật liệu này đảm bảo độ bền và tuổi thọ trong điều kiện xử lý khắc nghiệt. Nhờ độ ổn định nhiệt đặc biệt, Lớp lót ống xử lý SiC có thể chịu được nhiệt độ khắc nghiệt gặp phải trong quá trình chế tạo chất bán dẫn. Sự ổn định này đảm bảo phân phối nhiệt nhất quán và đồng đều, điều này rất cần thiết để kiểm soát chính xác sự phát triển và lắng đọng vật liệu.

Lớp lót ống xử lý SiC đóng một vai trò quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn vì chúng cung cấp môi trường ổn định, độ tinh khiết cao và ổn định nhiệt cho quá trình phát triển và xử lý chính xác của vật liệu bán dẫn. Đặc tính đặc biệt của chúng khiến chúng trở thành thành phần không thể thiếu trong chế tạo các thiết bị bán dẫn tiên tiến.