Mâm cặp chân không bằng gốm xốp SiC

Mâm cặp chân không bằng gốm xốp SiCthường bao gồm tấm gốm xốp cacbua silic và đế gốm alumina dày đặc. Có rất nhiều lỗ vi mô phân bố đồng đều và liên kết với nhau bên trongcacbua silictấm gốm xốp để phân phối chân không. Trong quá trình vận hành, mâm cặp chân không bằng gốm xốp SiC được kết nối với máy bơm chân không bên ngoài. Dưới hiệu ứng áp suất âm, môi trường chân không được tạo ra giữa phôi và mâm cặp, do đó đảm bảo rằng mâm cặp chân không bằng gốm xốp SiC kẹp chắc chắn và cố định phôi lên bề mặt của chúng.

Ưu điểm của mâm cặp chân không gốm xốp Semicorex SiC

1. Khả năng hấp phụ đồng đều và ổn định

Semicorex SiCgốm xốpMâm cặp chân không được chế tạo bằng công nghệ gốm xốp siêu nhỏ, bao gồm việc sử dụng bột nano có kích thước đồng đều. Nhờ công nghệ này,   mâm cặp chân không bằng gốm xốp SiC có độ xốp tuyệt vời và cấu trúc lỗ dày đặc đồng đều. Do đó, lực hấp phụ đồng đều có thể được tạo ra trên toàn bộ bề mặt tiếp xúc giữa mâm cặp chân không và phôi, giúp giảm đáng kể hư hỏng phôi do tập trung ứng suất cục bộ.

2. Độ phẳng vượt trội và độ chính xác kích thước

Đầu cặp chân không bằng gốm xốp Semicorex SiC áp dụng quy trình xử lý CNC phức tạp và hoàn thiện bề mặt chính xác, đạt được độ phẳng và độ chính xác kích thước đặc biệt. Độ phẳng bề mặt của mâm cặp chân không có thể được kiểm soát trong phạm vi dung sai mức micron dựa trên các kích thước và tình huống ứng dụng khác nhau. Điều này tránh được hiệu quả nguy cơ sứt mẻ và phân mảnh cạnh do lực không đồng đều trong quá trình hấp phụ.

3. Vận hành sạch, không có hạt

Mâm cặp chân không bằng gốm xốp Semicorex SiC được xử lý bằng cách ép đẳng tĩnh và thiêu kết ở nhiệt độ cao có cấu trúc dày đặc đồng đều, mang lại lượng khí thoát ra và tạo hạt thấp. Ngoài ra, mỗi mâm cặp chân không của Semicorex đều trải qua quá trình làm sạch siêu âm và kiểm tra hạt nghiêm ngặt trước khi xuất xưởng. Điều này ngăn ngừa đáng kể sự nhiễm bẩn phôi do sự phân tán hạt trong quá trình vận hành, từ đó đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt về độ sạch của quy trình

4. Độ bền và tuổi thọ tuyệt vời

Được chế tạo từ vật liệu cacbua silic và alumina cao cấp được lựa chọn cẩn thận, mâm cặp chân không bằng gốm xốp Semicorex SiC được đặc trưng bởi độ bền cơ học vượt trội, khả năng chống mài mòn, chống ăn mòn và khả năng chịu nhiệt. Với những đặc điểm ưu việt này,  mâm cặp chân không bằng gốm xốp Semicorex SiC rất phù hợp với các điều kiện vận hành khó khăn với nhiệt độ cao, độ ẩm cao và độ ăn mòn cao.