Ống oxy hóa sic

Ống oxy hóa sic semicorex được xây dựng từ gốm cacbua silicon có độ tinh khiết cao được thiết kế để oxy hóa, khuếch tán hoặc ủ các quá trình thường được thực hiện ở 1600 ° C. Là một phần của lò sic, ngang hoặc dọc, đây là môi trường được kiểm soát mà các tấm wafer được làm nóng trong khi oxy hóa. Chức năng của ống oxy hóa là cung cấp một môi trường sạch, đồng nhất và ổn định để xử lý nhiệt của các wafer cacbua silicon (SIC) trong việc chế tạo các thiết bị năng lượng và chất bán dẫn băng rộng, như là khẩu độ của quá trình oxy hóa tiềm năng liên tục, ống oxy hóa hoạt động như một mục tiêu mục tiêu được sử dụng đầu tiên. Trong khi các ống thạch anh và alumina thường được tìm thấy bị phá vỡ theo thời gian thông qua quá trình phá hủy, cong vênh hoặc phân hủy hóa học, silicon cacbua có độ bền đặc biệt chống lại các thách thức sốc nhiệt, tăng cường sở hữu cơ học và trơ hóa hóa học. Những yếu tố này mang lại cacbua silicon như một lựa chọn tuyệt vời cho các ống oxy hóa trong độ tin cậy cao, môi trường thông lượng cao.

Sử dụng các hình thức tiên tiến của hình thành như ép lạnh và thiêu kết không áp lực (hoặc kết tinh lại), semicorex tạo ra các ống oxy hóa SIC có cấu trúc vi mô dày đặc, kín khí và đồng nhất. Điều này cung cấp sức mạnh mà không có nguy cơ độ xốp, cho phép quá trình oxy hóa tiến hành mà không bị ô nhiễm. SIC có độ dẫn nhiệt rất cao, cho phép phân phối nhiệt đồng đều đến vùng tải wafer và do đó làm giảm độ dốc nhiệt có thể gây ra các wafer bị cong vênh hoặc khiếm khuyết. Khả năng kháng của axit, bazơ và khí phản ứng ngăn chặn các tương tác hóa học không mong muốn với bề mặt wafer và thông qua môi trường lò.

Nó không leo, nó không biến dạng. Ống không phải được thay thế sau một vài chu kỳ sản xuất, đó là môi trường đạp xe nhiệt dài hạn, nếu không sẽ phá hủy các vật liệu ít hơn. Do đó, không có gián đoạn tần số cao có nghĩa là chi phí vận hành thấp và điều này giữ cho quá trình chảy mà không có bất kỳ sự gián đoạn nào. Điều này cũng làm giảm các rủi ro ô nhiễm có thể dễ dàng giảm hiệu suất năng suất trong các thiết bị bán dẫn thế hệ tiếp theo nơi các tạp chất theo dõi đóng vai trò quan trọng. Semicorex sản xuất cả kích thước ống tiêu chuẩn và hoàn toàn tùy chỉnh cho bất kỳ nền tảng lò và công thức được sử dụng. Đường kính bên trong và bên ngoài, chiều dài, độ dày tường và hoàn thiện bề mặt là tất cả các thông số có thể yêu cầu điều chỉnh để giải quyết các nhu cầu nhiệt và cơ học cụ thể khác nhau; Từ các lò R & D quy mô phòng thí nghiệm lên đến các dòng sản xuất lớn trong mỗi trường hợp ống cần gia công, làm sạch và kiểm tra để đảm bảo hiệu suất.

Kiểm soát chất lượng bắt đầu bằng kiểm tra kích thước, kiểm tra mật độ vật liệu và xác thực độ tin cậy chu kỳ nhiệt cho mỗi ống oxy hóa SIC. Một hệ thống truy xuất nguồn gốc vật liệu mạnh mẽ ghi lại sản phẩm từ giai đoạn bột thô cho đến kiểm tra cuối cùng. Loại chất lượng đó mang lại cho khách hàng một bàn tay ổn định trong sự ổn định và khả năng tái tạo lâu dài của các ống oxy hóa SIC của chúng tôi.

Chọn Semicorex và có được một đối tác trong một nhà cung cấp kết hợp kỹ thuật gốm tiên tiến với kiểm soát quy trình rộng và hỗ trợ kỹ thuật đáp ứng bằng cách làm việc cùng nhau ngay từ đầu. Chúng tôi tìm hiểu về môi trường lò nung cụ thể của bạn, các yêu cầu quy trình và các thách thức tích hợp để chúng tôi có thể cung cấp cho bạn các giải pháp tùy chỉnh cải thiện kết quả quy trình cũng như thời gian hoạt động của công cụ.

Ống oxy hóa sic SIC cung cấp hiệu suất nhiệt tốt nhất có thể với độ ổn định hóa học và cường độ cơ học. Nó trở thành trái tim của bất kỳ hệ thống xử lý SIC nhiệt độ cao nào bằng cách cung cấp môi trường nhiệt đồng đều trong quá trình oxy hóa và ủ các vật liệu bán dẫn tiên tiến. Đối với các nhà sản xuất yêu cầu các thành phần lò phải đáng tin cậy, sạch sẽ và lâu dài, Semicorex sẽ là sự lựa chọn sản phẩm được hỗ trợ bởi kiến thức và kinh nghiệm cũng như tiêu chuẩn cung cấp không có gì tốt nhất.