Tấm ICP SiC

Tấm ICP Semicorex SiC được chế tạo bằng cacbua silic, được biết đến với các đặc tính vật lý và hóa học đặc biệt. Bản chất mạnh mẽ của nó đảm bảo khả năng chống sốc nhiệt, oxy hóa và ăn mòn vượt trội, vốn là những yếu tố quan trọng trong môi trường khắc nghiệt của quá trình xử lý chất bán dẫn. Việc sử dụng vật liệu SiC giúp tăng cường đáng kể tuổi thọ của tấm, giảm tần suất thay thế và do đó giảm chi phí bảo trì cũng như thời gian ngừng hoạt động tại các cơ sở sản xuất.

Tấm SiC ICP đóng một vai trò quan trọng trong quá trình ăn mòn và lắng đọng plasma, là nền tảng để tạo ra các tấm bán dẫn. Trong các quy trình này, độ dẫn nhiệt và độ ổn định cao của tấm SiC ICP đảm bảo kiểm soát nhiệt độ chính xác và phân phối plasma đồng đều, điều này rất quan trọng để đạt được kết quả lắng đọng và ăn mòn nhất quán và chính xác. Độ chính xác này rất quan trọng trong quá trình sản xuất các thiết bị bán dẫn ngày càng thu nhỏ và phức tạp, trong đó ngay cả những sai lệch nhỏ cũng có thể dẫn đến các vấn đề đáng kể về hiệu suất.

Một trong những tính năng nổi bật của tấm SiC ICP là độ bền cơ học vượt trội. Độ cứng và độ cứng vốn có của cacbua silic mang lại tính toàn vẹn về cấu trúc tuyệt vời, ngay cả trong những điều kiện khắc nghiệt. Sự mạnh mẽ này mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy hơn trong các quy trình plasma cường độ cao, giảm thiểu nguy cơ hỏng hóc thành phần và đảm bảo hoạt động liên tục, không bị gián đoạn. Hơn nữa, tính chất nhẹ của vật liệu so với các vật liệu kim loại truyền thống góp phần giúp xử lý và lắp đặt dễ dàng hơn, nâng cao hơn nữa hiệu quả hoạt động.

Ngoài các thuộc tính vật lý, tấm SiC ICP còn mang lại độ ổn định hóa học tuyệt vời. Nó thể hiện khả năng chống chịu đáng chú ý đối với các loại plasma phản ứng, phổ biến trong môi trường lắng đọng và ăn mòn chất bán dẫn. Điện trở này đảm bảo rằng tấm duy trì tính toàn vẹn và hiệu suất trong thời gian dài, ngay cả khi có các hóa chất mạnh được sử dụng trong quy trình plasma. Do đó, tấm SiC ICP cung cấp môi trường xử lý sạch hơn, giảm khả năng nhiễm bẩn và khuyết tật trong các tấm bán dẫn.