Ống lò ngang SIC

Ống lò ngang SIClà những vật mang không thể thiếu của hệ thống lò, thường được đặt ở khu vực gia nhiệt lõi của các thiết bị sản xuất chất bán dẫn hoặc sản xuất quang điện. Chúng hoạt động cùng với các bộ phận làm nóng, hệ thống kiểm soát nhiệt độ, hệ thống kiểm soát khí và thuyền bán dẫn để tạo thành hệ thống lò hoàn chỉnh.

Trong hoạt động thực tế, các ống lò nằm ngang SIC được làm nóng bằng các bộ phận làm nóng, truyền nhiệt đồng đều vào các ống lò nhờ tính dẫn nhiệt tuyệt vời của vật liệu cacbua silic. Trong khi đó, các loại khí xử lý cụ thể (như oxy, nitơ, khí doping, v.v.) được đưa vào ống lò. Dưới tác dụng của môi trường khí nhiệt độ cao này, vật liệu bán dẫn bên trong lò sẽ trải qua các phản ứng hóa học hoặc thay đổi vật lý, cuối cùng đạt được sự biến đổi vật liệu, pha tạp hoặc tối ưu hóa cấu trúc.

Ống lò ngang SIC của Semicorex mang lại độ bền và độ cứng cơ học vượt trội, đóng vai trò quan trọng trong các ứng dụng liên quan đến xử lý và xử lý wafer khối lượng lớn. Ống lò ngang SIC có thể hỗ trợ ổn định cho các tấm bán dẫn trong các quá trình xử lý nhiệt như oxy hóa, khuếch tán và ủ, đảm bảo các tấm bán dẫn ở đúng vị trí trong quá trình xử lý ở nhiệt độ cao và tránh sự dịch chuyển hoặc biến dạng do ứng suất nhiệt.

Ống lò ngang SIC của Semicorex được sản xuất từ ​​vật liệu có độ tinh khiết caogốm sứ cacbua silicvới hàm lượng tạp chất cực thấp, sau đó là lắng đọng CVDlớp phủ cacbua silictrên bề mặt của chúng. Phương pháp sản xuất này bổ sung một lớp bảo vệ cho các ống lò ngang SIC, giúp chúng hoạt động ổn định trong môi trường đòi hỏi nhiệt độ cao và ăn mòn theo thời gian. Hiệu suất chống ăn mòn này của ống lò ngang SIC cải thiện hiệu quả sản xuất tấm bán dẫn bằng cách giảm hiệu quả nguy cơ hư hỏng thành phần liên quan đến ăn mòn và giảm nhu cầu thay thế và bảo trì thường xuyên.

Với rất nhiều đặc tính ưu việt, ống lò ngang SIC của Semicorex được sử dụng rộng rãi trong nhiều quy trình xử lý nhiệt độ cao trong ngành quang điện và bán dẫn như quá trình oxy hóa, quá trình khuếch tán, quá trình ủ và lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp.