Thanh SiC làm nóng bộ phận làm nóng SiC

Thanh SiC làm nóng bộ phận làm nóng SiC đại diện cho đỉnh cao của công nghệ làm nóng, được thiết kế tỉ mỉ để đáp ứng nhu cầu chính xác của quy trình chế tạo chất bán dẫn. Bộ phận làm nóng cải tiến này kết hợp các đặc tính nhiệt đặc biệt của than chì với các thuộc tính hiệu suất cao của lớp phủ silicon cacbua (SiC), tạo thành một công cụ không thể thiếu để sản xuất chất bán dẫn chính xác và hiệu quả.

Ứng dụng:

Thanh SiC dây tóc làm nóng bộ phận làm nóng Semicorex SiC tìm thấy tiện ích không thể thiếu trong các quy trình sản xuất chất bán dẫn quan trọng khác nhau:

Lắng đọng hơi hóa học (CVD): Cho phép lắng đọng có kiểm soát các màng mỏng lên các chất nền, rất quan trọng để tạo ra các mẫu mạch và cấu trúc thiết bị phức tạp.

Ủ và khuếch tán: Tạo điều kiện xử lý nhiệt có kiểm soát để nâng cao tính chất vật liệu và tạo ra các cấu hình pha tạp chính xác trong chất nền bán dẫn.

Quá trình oxy hóa và ăn mòn: Hỗ trợ các quá trình oxy hóa và ăn mòn có kiểm soát cần thiết cho việc cách ly thiết bị, hình thành liên kết và sửa đổi bề mặt.

Tăng trưởng tinh thể: Cung cấp môi trường nhiệt lý tưởng cho sự phát triển epiticular, dẫn đến sự hình thành các lớp tinh thể chất lượng cao với các hướng tinh thể xác định.