Sic ngón tay

Semicorex SiC Fingers are specialized parts whose primary applications are in semiconductor processing equipment, specifically in wafer handling and support systems. Their primary function is to support or hold wafers in place during processes such as epitaxy, ion implantation, or thermal treatment, in which dimensional stability or cleanliness, along with reliability, is critical. Silicon cacbua kết hợp cường độ cơ học với khả năng chống nhiệt và hóa học tuyệt vời, và các đặc điểm này là cần thiết trong các dòng chế tạo chất bán dẫn tiên tiến, do đó, các ngón tay SIC là không thể thiếu trong các ứng dụng như vậy.

Tính năng bán hàng củaCarbide siliconas a material is the ability to withstand extremely high operating temperatures without losing its mechanical integrity. Trong các quá trình bán dẫn như tăng trưởng epiticular, wafer trải qua nhiệt độ tăng cao đột ngột và qua thời gian dài. The SiC Fingers once engaged will maintain their alignment and strength throughout the high-temperature cycles so the wafers remain in place, minimizing movement to avoid deformation or misalignment to maintain adequate process uniformity to achieve acceptable device yield. Các ngón tay SIC cung cấp dịch vụ dài hơn nhiều so với các hỗ trợ gốm hoặc kim loại thông thường trong khi phù hợp hơn nhiều trong tải trọng ở nhiệt độ cao.

Một lợi ích chính của ngón tay SIC là sức đề kháng hóa học vượt trội của họ. Tất cả các ứng dụng bán dẫn liên quan đến khí phản ứng, tiếp xúc với plasma và tiếp xúc với các hóa chất ăn mòn. Các vật liệu ăn mòn hoặc phân rã phản ứng bằng cách giải phóng các hạt hoặc chất gây ô nhiễm có thể làm giảm chất lượng wafer.Carbide silicon has a chemically inert surface that will not attach or react to aggressive chemicals, producing a clean process environment and a significantly reduced risk of contamination. This adds to the durability of the wafer handling tool, directly contributing to stable and repeatable process results which is critical in producing semiconductor devices with high yield.

Độ chính xác là một cân nhắc quan trọng khác trong thiết kế của ngón tay sic. Wafer handling entails components with extremely tight tolerances, micrometers can cause wafer misalignment, increase the potential for breaking the wafer, or cause inconsistencies in processes. By utilizing the latest in machining and polishing technology, SiC Fingers can be produced with theh highest dimensional tolerances and surface flatness and smooth finish. This guarantees a stable, relatively inertia free platform for wafer support with reduced potential for particle formation, and repeated performance of wafer handling applications in automatic semiconductor processing equipment.

Ngoài các lợi thế vật liệu cơ bản của ngón tay SIC, chúng cũng có thể được thực hiện cụ thể cho phù hợp với từng thiết bị hoặc yêu cầu quy trình. Các kích thước wafer khác nhau, thiết kế lò phản ứng khác nhau và xử lý toán tử khác nhau đòi hỏi các giải pháp sản xuất cụ thể. SiC Fingers can be made in any geometry or dimension, and surface treatment can be applied as suitable for specific applications.

SiC Fingers also reduce operating costs, due to their long useable life (lowering frequency of replacement) and their reduced downtimes due to failure or deposition contamination from thermal or chemical stress. With both durability and reliability for semiconductor manufacturers, utilization of SiC Fingers leads to increased uptime, lower consumable cost, and overall improved process efficiency.

Practically, SiC Fingers are utilized mostly in epitaxy growth reactors, as they provide stable wafer holding during extreme thermal and chemical processes. Chúng cũng được sử dụng trong các máy đóng băng ion hoặc ủ nhiệt độ cao trong đó độ ổn định cơ học, cũng như trơ hóa hóa học là rất quan trọng. Across applications, consistent performance also makes their use in wafer handling critical in providing process uniformity, wafer integrity, and quality.

Ngón tay Sicorex sic, là những ví dụ mạnh mẽ về những lợi thế củaVật liệu cacbua silicon Đối với nhiệt độ cao, kháng hóa chất, các thành phần bán dẫn được thiết kế chính xác. The material environment of SiC Fingers provide high temperature stability, exceptional chemical resistance, and the ability to manufacture to high precision standards. A robust and customizable component is critical to achieving stable production and improved yield and cost efficiency for semiconductor manufacturers. Ngón tay SIC tiếp tục là một giải pháp tiên tiến và đáng tin cậy cho FAB tập trung vào sự ổn định của quá trình và đảm bảo chất lượng.