Cánh tay gốm alumina

Semicorex Alumina Geramic ARM là một thành phần được thiết kế được phát triển thành các thông số kỹ thuật cao nhất cho các ứng dụng bán dẫn. Được làm từ alumina có độ tinh khiết cao (Al₂O₃), nó là một cánh tay robot có sự kết hợp độc đáo của cường độ cơ học, độ ổn định nhiệt và kháng hóa chất. Cánh tay không chỉ được thiết kế để sử dụng để xử lý wafer một mình mà còn cần cung cấp hỗ trợ quy trình trong các trang web chế tạo tiên tiến. Nó cũng phải đảm bảo rằng các tấm wafer đang được chuyển, định vị và xử lý mà không bị ô nhiễm hoặc thiệt hại; cải thiện năng suất và độ tin cậy của quá trình.

Aluminalà một trong những gốm kỹ thuật tìm thấy sự sử dụng rộng nhất trong lĩnh vực gốm kỹ thuật. Alumina được biết đến với độ cứng, khả năng chống mài mòn và sự ổn định trong môi trường tích cực. Đối với các mục tiêu của cánh tay gốm để quản lý xử lý wafer mà không cần đưa ra ô nhiễm, nó có thể khai thác các tính chất của alumina và cung cấp mức độ kháng thuốc cao hơn nhiều do hậu quả của độ tinh khiết và kích thước hạt cao của nó; Do đó, nó sẽ không tạo ra các hạt quá mức trong các chuyển động lặp đi lặp lại của nó, với wafer hoặc với chất nền bán dẫn của bất kỳ loại nào khác.  Mật độ và độ xốp thấp mà nó cũng lưu trữ hơn nữa khả năng của các hạt bị phá vỡ tự do và đảm bảo nó đáp ứng các yêu cầu cực kỳ sạch sẽ của các FAB phát triển bán dẫn mà không làm giảm độ sạch cần thiết để xử lý thiết bị Subicron.

AluminaSở hữu sự ổn định nhiệt đặc biệt ngoài sức mạnh cơ học của nó. Cánh tay gốm alumina có thể chịu đựng được nhiệt độ quá trình cực độ mà không bị cong vênh, nứt hoặc mất sức. Thuộc tính này làm cho nó lý tưởng để kết hợp vào bất kỳ bước quy trình nào bao gồm tiếp xúc với nhiệt độ tăng cao, như khuếch tán, oxy hóa hoặc các bước ủ. Wafer sẽ cải thiện độ tin cậy để chuyển trong môi trường quy trình đầy thách thức vì nó giữ được tính toàn vẹn cơ học khi đi xe đạp nhiệt.

Kháng hóa chất là một tích cực cơ bản khác của cánh tay gốm alumina. Trong sản xuất chất bán dẫn, các phương pháp điều trị thường được thực hiện trên các tấm wafer bao gồm axit mạnh, kiềm và các hóa chất tích cực khác. Mặc dù các thành phần kim loại có thể ăn mòn hoặc tạp chất, alumina trơ hóa học, bảo vệ tính toàn vẹn của cả cánh tay và tấm wafer mà nó xử lý. Do đó, sự trơ kéo dài tuổi thọ của thành phần trong khi giảm khả năng ô nhiễm trong các bước quá trình quan trọng như làm sạch ướt hoặc lắng đọng hơi hóa học.

Cánh tay gốm alumina được thiết kế tập trung vào khả năng tương thích và độ chính xác. Mỗi cánh tay được tạo ra cho dung sai chiều chặt chẽ, đảm bảo sự liên kết và chuyển động chính xác và khả năng tương thích với thiết bị xử lý wafer tự động và hệ thống robot. Hoàn thiện bề mặt mịn màng, được đánh bóng có giao diện ma sát thấp với wafer làm giảm cơ hội gãi wafer, điều này rất cần thiết cho tính toàn vẹn của wafer/độ sạch môi trường và giảm tốc độ khiếm khuyết. Các dung sai được thiết kế này đảm bảo rằng cánh tay hoạt động tự do trong môi trường thông lượng cao có nhịp độ nhanh và cho phép cả hai quy trình công việc bán dẫn của con người và hoàn toàn tự động cho cánh tay.

Cánh tay gốm alumina vượt ra ngoài hiệu suất hóa học và cơ học và tác động đến hiệu quả vận hành và tiết kiệm chi phí ở nhiều cấp độ. Bản chất bền đã được chứng minh của gốm cho phép cánh tay vượt trội hơn các vật liệu composite như nhựa hoặc nhôm về tuổi thọ thiết kế dưới tải cơ học lặp đi lặp lại, và do đó làm giảm thời gian ngừng hoạt động và/hoặc chi phí thay thế liên quan. Khả năng chịu được môi trường khắc nghiệt bao gồm sự sạch sẽ của môi trường, đồng thời sản xuất ít gián đoạn sản xuất dẫn đến sản xuất wafer phù hợp được cải thiện, tức là năng suất và cuối cùng ít bị hủy bỏ dẫn đến ROI cao hơn (lợi tức đầu tư) cho các nhà sản xuất bán dẫn.

Các tùy chọn để sử dụngGốm aluminaARM cho các quá trình bán dẫn hầu như là vô tận - từ các tấm di chuyển giữa băng ghế ướt, lò khuếch tán và buồng lắng đến các công cụ kiểm tra và đo lường sử dụng chất nền. Tính linh hoạt của sản phẩm này không chỉ cho phép nó được sử dụng cho các ứng dụng xử lý wafer, mà các tình huống tự động hóa hơn nữa khi cần có độ chính xác, độ sạch và độ tin cậy cũng là khả thi. Ngành công nghiệp bán dẫn đang di chuyển một cách khó khăn về phía các nút nhỏ hơn và tăng độ phức tạp trong chế tạo thiết bị, và khi ngành công nghiệp tiếp tục đòi hỏi các giải pháp xử lý tốt hơn đáng tin cậy và không nhiễm trùng, cánh tay robot gốm tạo ra một con đường rõ ràng về phía trước.