SIC ARM

Semicorex SIC ARM là một thiết bị chuyên dụng được phát triển để xử lý các tấm wafer với độ tin cậy và độ chính xác tối đa. Các cánh tay chuyển wafer, như cánh tay SIC xuất hiện trong các thiết bị sản xuất bán dẫn tiên tiến như lò phản ứng epiticular, hệ thống cấy ion, xử lý nhiệt, vv Cánh tay chuyển wafer là không thể thiếu đối với sự di chuyển chính xác của wafer trong môi trường xử lý wafer phức tạp để đảm bảo chuyển giao an toàn và chính xác. Được xây dựng bằng cách sử dụng độ tinh khiết caoCarbide siliconkết hợp với các thuộc tính nguyên liệu thô của 

Sự ổn định nhiệt và hóa học đặc biệt, và kiểm soát gia công tuyệt vời, làm cho SIC ARM trở thành một giải pháp đáng tin cậy cho sản xuất chất bán dẫn trong tương lai.

SIC ARM có hiệu suất đặc biệt trong môi trường nhiệt cực đoan. Trong sự tăng trưởng epiticular cũng như các quá trình nhiệt độ cao khác, các thành phần xử lý wafer có thể phải chịu nhiệt duy trì dễ dàng làm giảm các đặc điểm vật liệu thông thường. Carbide silicon giữ lại cả độ chính xác và độ chính xác kích thước (dung sai kích thước hữu hạn) ở nhiệt độ cao, đảm bảo wafer có thể vẫn ngồi chính xác trong quá trình chuyển hoặc xử lý, và hầu như loại bỏ sự sai lệch wafer, warpage hoặc ô nhiễm. Gốm với hiệu suất đặc biệt của một sản phẩm SIC; Giống như cánh tay SIC không oxy hóa, biến dạng như kim loại, cũng không có đặc điểm hiệu suất thất bại như gốm, đó là những vết nứt căng thẳng.

Kháng hóa chất là một đặc tính xác định khác của cánh tay SIC. Trong môi trường bán dẫn, khí ăn mòn, hóa chất phản ứng và phơi nhiễm huyết tương là phổ biến. Một cánh tay xử lý xấu đi trong các điều kiện như vậy không chỉ có nguy cơ thất bại cơ học mà còn làm ô nhiễm các tấm wafer.Carbide siliconCung cấp một bề mặt trơ hóa học chống lại các điều kiện tích cực này. Kết quả là một thành phần đáng tin cậy cao giúp duy trì tính toàn vẹn và độ sạch của bề mặt, bảo vệ các tấm wafer khỏi các tạp chất có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của thiết bị. Độ bền này làm giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động của thiết bị, giảm tần số thay thế và tăng cường tính nhất quán của quá trình.

Ngoài khả năng phục hồi vật chất của nó, SIC ARM còn đáp ứng độ chính xác gia công cao. Xử lý wafer đòi hỏi độ chính xác cho micromet; Dung sai thậm chí hơi thoát khỏi đặc điểm kỹ thuật có thể gây ra những thay đổi về hình học hoặc hoàn thiện bề mặt có thể gây ra rủi ro cao hơn trong việc phá vỡ wafer hoặc sai lệch wafer. Bằng cách sử dụng các công nghệ sản xuất hiện đại, SIC ARM được sản xuất với dung sai thích hợp, độ phẳng và bề mặt mịn. Là các ứng dụng chính xác cao là lý tưởng để đảm bảo định vị phù hợp của các tấm wafer và hiệu suất lặp lại trong hàng ngàn chu kỳ xử lý, điều này rất lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn khối lượng lớn có thông số kỹ thuật.

Tính linh hoạt là một lợi thế khác của cánh tay sic. Các công cụ và quy trình bán dẫn khác nhau đòi hỏi phải có cánh tay của các hình học, kích cỡ và thiết kế khác nhau. Vì các cánh tay SIC có thể được sửa đổi để kết hợp các đặc điểm thiết kế cụ thể này, chúng có thể dễ dàng phù hợp với một loạt các hệ thống, cho dù đó là một công cụ epitaxy, một thiết bị cấy ghép ion hoặc lò phản ứng xử lý nhiệt. Hoàn thiện bề mặt, thiết kế kết cấu và hoàn thiện cũng có thể được sửa đổi và thiết kế để cung cấp hiệu suất tốt nhất đối với ứng dụng cụ thể.

SIC Arms cũng có hiệu quả hoạt động. Độ bền cao và độ tin cậy của SIC là thay thế trung bình không thường xuyên và thời gian chết được giảm thiểu; Cả hai có nghĩa là chi phí bảo trì dài hạn thấp hơn. Đối với FAB bán dẫn sản xuất, điều này có nghĩa là nhận ra thông lượng tốt hơn, khả năng ổn định hơn trong sản xuất và năng suất thiết bị cao hơn.

SIC ARMS đã chứng kiến ​​việc sử dụng rộng rãi kể từ khi được giới thiệu trong cộng đồng bán dẫn đặc biệt trong các hệ thống chuyển wafer, nơi họ phải chịu được cả ứng suất cơ học và điều kiện xử lý rất nghiêm ngặt. Có thể là các tấm wafer chuyển sang các lò phản ứng epitaxy, giữ chúng tại chỗ trong quá trình cấy ion hoặc chuyển chúng qua môi trường xử lý khí hoặc nhiệt, SIC ARM cung cấp xử lý wafer an toàn, chính xác và không bị ô nhiễm. Độ tin cậy là rõ ràng thông qua việc đưa SIC ARM vào danh mục thiết bị bán dẫn hiện đại.

Semicorex sic Arm là sự kết hợp thành công của các thuộc tính mong muốn của Nâng caoVật liệu cacbua silicon, Kỹ thuật chính xác và độ ổn định nhiệt độ cao. Sự kết hợp của sự ổn định hóa học, khả năng được gia công và chế tạo chính xác làm cho cánh tay SIC phù hợp để cung cấp xử lý wafer đáng tin cậy trong các quá trình bán dây dẫn cứng nhất. Cánh tay SIC có thể tùy chỉnh và bền cho các lợi ích tiêu thụ của người dùng cuối để xử lý wafer hỗ trợ và cung cấp lợi ích trong hiệu suất hoạt động lâu dài liên quan đến hiệu quả, năng suất và ổn định quy trình. Các nhà sản xuất đang tìm kiếm các hệ thống xử lý wafer hiện đại và tiên tiến hoặc thậm chí là các giải pháp xử lý wafer ngoài hộp tìm kiếm và dựa vào cánh tay SIC như một hệ thống chuyển đổi và xử lý wafer có hiệu suất cao, hiệu suất cao và có khả năng cho các nhu cầu nâng cao của ngành công nghiệp bán dẫn.