Mô tả Sản phẩm

Semicorex SiC Fin là thành phần hiệu suất cao được làm bằnggốm cacbua silicMỗi Vây Semicorex SiC được sản xuất với dung sai rất chặt chẽ và được đánh bóng để mang lại độ phẳng bề mặt và độ chính xác kích thước tuyệt vời. Độ chính xác trong sản xuất này đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy khi được tích hợp vào các hệ thống phức tạp và duy trì chức năng nhất quán trong thời gian dài hoạt động. SiC Fin tương thích với tất cả các thiết kế lò phản ứng và có thể được sản xuất tùy chỉnh về đường kính, độ dày và kiểu lỗ để đáp ứng nhu cầu của khách hàng. Semicorex có thể cung cấp các thiết kế tùy chỉnh để tối ưu hóa hiệu suất cho các biến số quy trình như tốc độ dòng chảy, hình dạng buồng và nhiệt độ.

SiC Fin được sản xuất từ có độ tinh khiết caocacbua silicbột sử dụng quá trình tạo hình và thiêu kết tiên tiến. Vì vậy, nó có độ bền cơ học tuyệt vời và độ ổn định ở điều kiện nhiệt và hóa học cao. Các đặc tính vật lý độc đáo của cacbua silic như độ cứng cao, độ giãn nở nhiệt thấp và độ trơ hóa học tuyệt vời cho phép Vây trở thành thành phần cấu trúc trong môi trường khí phản ứng hoặc plasma nhiệt độ cao, đặc trưng của quá trình EPI và ăn mòn.

Cấu trúc đĩa của bộ phận, hoàn chỉnh với các lỗ được khoan chính xác, cho phép kiểm soát dòng khí và chất lỏng trong suốt buồng xử lý. Tùy thuộc vào ứng dụng, các lỗ có thể được cấu hình để quản lý dòng sản phẩm phụ hoặc hệ thống thoát nước nhằm tạo ra môi trường sạch sẽ và ổn định trong quá trình sản xuất tấm bán dẫn. Ví dụ, trong ứng dụng epit Wax, SiC Fin có thể hỗ trợ điều hướng các dòng khí xử lý hoặc dòng ngưng tụ, nhờ đó tăng cường tính đồng nhất của màng và giảm thiểu ô nhiễm hạt. Trong các công cụ khắc, nó có hiệu quả trong việc loại bỏ an toàn và hiệu quả các loại phản ứng và các sản phẩm phụ dạng lỏng bảo vệ các thành phần dễ bị tổn thương trong buồng khỏi sự xuống cấp hóa học.

Ngoài chức năng linh hoạt, SiC Fin còn có độ bền và tuổi thọ vượt trội so với các vật liệu khác. Nó có khả năng chống oxy hóa, xói mòn plasma và ăn mòn hóa học cao, giúp giảm tần suất thay thế các bộ phận của bạn và giảm thời gian ngừng hoạt động của hệ thống. Hơn nữa, tính dẫn nhiệt của cacbua silic cho phép khả năng tản nhiệt để quản lý độ dốc nhiệt trong thiết bị, tránh hiện tượng cong vênh hoặc nứt không mong muốn trong quá trình đạp xe nhiệt độ nhanh.

Semicorex sử dụng tiên tiếngốm sứkhả năng xử lý và phủ CVD để mang lại độ tinh khiết và tính nhất quán cao nhất của SiC Fin được sản xuất. Mỗi SiC Fin cũng được kiểm tra về mật độ, tính đồng nhất của cấu trúc vi mô và độ hoàn thiện bề mặt để đảm bảo đáp ứng các yêu cầu khắt khe của ngành bán dẫn. Điều này tạo ra một bộ phận có tính toàn vẹn về mặt cơ học và độ bền vững để hoạt động ổn định, lâu dài trong môi trường khắc nghiệt.

Semicorex SiC Fin là kết quả của công nghệ kỹ thuật và khoa học vật liệu tiên tiến. Nó không chỉ tạo ra dòng khí thải và chất lỏng hiệu quả mà còn góp phần mang lại độ sạch và độ tin cậy của toàn bộ hệ thống epitaxy và ăn mòn. Nó kết hợp độ bền cơ học, độ ổn định nhiệt và tuổi thọ ăn mòn để mang lại trải nghiệm nhất quán hơn cho các ứng dụng xử lý chất bán dẫn.