Ống lò khuếch tán SiC

Các đặc tính vật liệu tiên tiến của Ống lò khuếch tán Semicorex SiC, bao gồm độ bền uốn cao, khả năng chống oxy hóa và ăn mòn vượt trội, khả năng chống mài mòn cao, hệ số ma sát thấp, tính chất cơ học ở nhiệt độ cao vượt trội và độ tinh khiết cực cao, khiến nó không thể thiếu trong ngành bán dẫn , đặc biệt cho các ứng dụng lò khuếch tán. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Ống lò khuếch tán SiC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Độ bền uốn cao: Ống lò khuếch tán Semicorex SiC tự hào có độ bền uốn vượt quá 200MPa, đảm bảo hiệu suất cơ học vượt trội và tính toàn vẹn cấu trúc trong điều kiện ứng suất cao điển hình của quy trình sản xuất chất bán dẫn.

Khả năng chống oxy hóa vượt trội: Những ống lò khuếch tán SiC này thể hiện khả năng chống oxy hóa vượt trội, tốt nhất trong số tất cả các loại gốm không chứa oxit. Đặc tính này đảm bảo độ ổn định và hiệu suất lâu dài trong môi trường nhiệt độ cao, giảm nguy cơ xuống cấp và kéo dài tuổi thọ hoạt động của ống.

Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: Độ trơ hóa học của Ống lò khuếch tán SiC mang lại khả năng chống ăn mòn tuyệt vời, khiến những ống này trở nên lý tưởng để sử dụng trong môi trường hóa học khắc nghiệt thường gặp trong xử lý chất bán dẫn.

Khả năng chống mài mòn cao: Ống lò khuếch tán SiC có khả năng chống mài mòn cao, điều này rất quan trọng để duy trì sự ổn định về kích thước và giảm yêu cầu bảo trì trong thời gian dài sử dụng trong điều kiện mài mòn.

Hệ số ma sát thấp: Hệ số ma sát thấp của Ống lò khuếch tán SiC giúp giảm hao mòn trên cả ống và tấm bán dẫn, đảm bảo vận hành trơn tru và giảm thiểu rủi ro ô nhiễm trong quá trình xử lý chất bán dẫn.

Đặc tính cơ học nhiệt độ cao vượt trội: Ống lò khuếch tán SiC thể hiện các đặc tính cơ học ở nhiệt độ cao tốt nhất trong số các vật liệu gốm đã biết, bao gồm độ bền vượt trội và khả năng chống rão. Điều này làm cho nó đặc biệt thích hợp cho các ứng dụng đòi hỏi sự ổn định lâu dài ở nhiệt độ cao.

Với lớp phủ CVD: Lớp phủ SiC lắng đọng hơi hóa học (CVD) Semicorex đạt độ tinh khiết lớn hơn 99,9995%, với hàm lượng tạp chất dưới 5ppm và tạp chất kim loại có hại dưới 1ppm. Quy trình phủ CVD đảm bảo các ống đáp ứng yêu cầu nghiêm ngặt về độ kín chân không là 2-3Torr, cần thiết cho môi trường sản xuất chất bán dẫn có độ chính xác cao.

Ứng dụng trong lò khuếch tán: Các ống lò khuếch tán SiC này được thiết kế đặc biệt để sử dụng trong lò khuếch tán, nơi chúng đóng vai trò quan trọng trong các quá trình nhiệt độ cao như pha tạp và oxy hóa. Đặc tính vật liệu tiên tiến của chúng đảm bảo chúng có thể chịu được các điều kiện khắt khe của các quy trình này, từ đó nâng cao hiệu quả và độ tin cậy của quá trình sản xuất chất bán dẫn.