Thành phần ICP phủ SiC của Semicorex được thiết kế dành riêng cho các quy trình xử lý wafer nhiệt độ cao như epitaxy và MOCVD. Với lớp phủ tinh thể SiC mịn, chất mang của chúng tôi cung cấp khả năng chịu nhiệt vượt trội, đồng đều nhiệt và kháng hóa chất lâu bền.
Thành phần ICP phủ SiC của Semicorex là lựa chọn hàng đầu cho các quy trình xử lý wafer đòi hỏi khả năng chịu nhiệt độ cao và hóa chất. Các chất mang của chúng tôi cung cấp các cấu hình nhiệt đồng đều, mô hình dòng khí phân lớp và ngăn ngừa sự nhiễm bẩn hoặc khuếch tán tạp chất nhờ tinh thể SiC mịn của chúng tôi. Với lớp phủ tinh thể SiC mịn, chất mang của chúng tôi mang lại khả năng chịu nhiệt vượt trội, đồng đều nhiệt và kháng hóa chất lâu bền.
Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Thành phần ICP phủ SiC của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng nhất quán và dịch vụ khách hàng đặc biệt.
Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Thành phần ICP phủ SiC của chúng tôi.
Thông số của Thành phần ICP phủ SiC
Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC |
||
Thuộc tính SiC-CVD |
||
Cấu trúc tinh thể |
Giai đoạn FCC β |
|
Tỉ trọng |
g/cm ³ |
3.21 |
độ cứng |
độ cứng Vickers |
2500 |
Kích thước hạt |
μm |
2~10 |
độ tinh khiết hóa học |
% |
99.99995 |
Nhiệt dung |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Nhiệt độ thăng hoa |
℃ |
2700 |
Sức mạnh của Felexural |
MPa (RT 4 điểm) |
415 |
Mô đun Youngâs |
Gpa (uốn cong 4pt, 1300â) |
430 |
Giãn nở nhiệt (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Dẫn nhiệt |
(W/mK) |
300 |
Các tính năng của Thành phần ICP phủ SiC
- Tránh bong tróc và đảm bảo sơn phủ trên mọi bề mặt
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Ổn định ở nhiệt độ cao lên tới 1600°C
Độ tinh khiết cao: được thực hiện bằng cách lắng đọng hơi hóa học CVD trong điều kiện clo hóa ở nhiệt độ cao.
Chống ăn mòn: độ cứng cao, bề mặt dày đặc và các hạt mịn.
Chống ăn mòn: axit, kiềm, muối và thuốc thử hữu cơ.
- Đạt được mô hình dòng khí tốt nhất
- Đảm bảo độ đồng đều của biên dạng nhiệt
- Ngăn chặn bất kỳ ô nhiễm hoặc khuếch tán tạp chất