Hệ thống khắc plasma ICP cho quy trình PSS

Chọn Hệ thống khắc plasma ICP của Semicorex cho Quy trình PSS để có quy trình epit Wax và MOCVD chất lượng cao. Sản phẩm của chúng tôi được thiết kế đặc biệt cho các quy trình này, mang lại khả năng chịu nhiệt và ăn mòn vượt trội. Với bề mặt sạch và mịn, tàu sân bay của chúng tôi là lựa chọn hoàn hảo để xử lý các tấm bán dẫn nguyên sơ.

Gửi yêu cầu

Mô tả Sản phẩm

Hệ thống khắc plasma ICP cho quy trình PSS của Semicorex cung cấp khả năng chịu nhiệt và ăn mòn tuyệt vời cho quá trình xử lý tấm bán dẫn và lắng đọng màng mỏng. Lớp phủ tinh thể SiC mịn của chúng tôi mang lại bề mặt sạch và mịn, đảm bảo xử lý tối ưu các tấm bán dẫn nguyên sơ.

Tại Semicorex, chúng tôi tập trung vào việc cung cấp các sản phẩm chất lượng cao, tiết kiệm chi phí cho khách hàng. Hệ thống khắc plasma ICP cho quy trình PSS của chúng tôi có lợi thế về giá và được xuất khẩu sang nhiều thị trường Châu Âu và Châu Mỹ. Chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn, cung cấp các sản phẩm chất lượng ổn định và dịch vụ khách hàng đặc biệt.

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để tìm hiểu thêm về Hệ thống khắc plasma ICP cho quy trình PSS của chúng tôi.

Các thông số của hệ thống khắc plasma ICP cho quy trình PSS

Thông số kỹ thuật chính của lớp phủ CVD-SIC
Thuộc tính SiC-CVD
Cấu trúc tinh thể	Giai đoạn FCC
Tỉ trọng	g/cm³	3.21
độ cứng	Độ cứng Vickers	2500
Kích thước hạt	mm	2~10
Độ tinh khiết hóa học	%	99.99995
Công suất nhiệt	J kg-1 K-1	640
Nhiệt độ thăng hoa	℃	2700
Sức mạnh cảm giác	MPa (RT 4 điểm)	415
Mô đun của Young	Gpa (uốn cong 4pt, 1300oC)	430
Giãn nở nhiệt (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Độ dẫn nhiệt	(W/mK)	300