Đĩa Epitaxy được phủ Semicorex SiC có nhiều đặc tính khiến nó trở thành thành phần không thể thiếu trong sản xuất chất bán dẫn, trong đó độ chính xác, độ bền và độ bền của thiết bị là tối quan trọng cho sự thành công của các thiết bị bán dẫn công nghệ cao. Tại Semicorex, chúng tôi chuyên sản xuất và cung cấp Đĩa Epitaxy phủ SiC hiệu suất cao, kết hợp chất lượng với hiệu quả chi phí.**
Đĩa Epit Wax được phủ Semicorex SiC có một loạt các lợi thế chưa từng có trong ngành bán dẫn, có thể được trình bày chi tiết hơn như sau:
Hệ số giãn nở nhiệt thấp: Đĩa Epit Wax phủ SiC có hệ số giãn nở nhiệt thấp đáng chú ý, điều này rất quan trọng trong xử lý chất bán dẫn trong đó độ ổn định kích thước là cần thiết. Thuộc tính này đảm bảo rằng Đĩa Epit Wax được phủ SiC trải qua sự giãn nở hoặc co lại tối thiểu dưới sự thay đổi nhiệt độ, duy trì tính toàn vẹn của cấu trúc bán dẫn trong quá trình xử lý nhiệt độ cao.
Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao: Được thiết kế với khả năng chống oxy hóa vượt trội, Đĩa Epit Wax được phủ SiC này vẫn giữ được tính toàn vẹn về cấu trúc ở nhiệt độ cao, khiến nó trở thành thành phần lý tưởng cho các ứng dụng trong quy trình bán dẫn nhiệt độ cao trong đó độ ổn định nhiệt là rất quan trọng.
Bề mặt dày đặc và xốp mịn: Bề mặt của Đĩa Epitaxy được phủ SiC được đặc trưng bởi mật độ và độ xốp mịn, mang lại kết cấu bề mặt tối ưu để bám dính các lớp phủ khác nhau và đảm bảo loại bỏ vật liệu hiệu quả trong quá trình xử lý tấm bán dẫn mà không làm hỏng bề mặt mỏng manh.
Độ cứng cao: Lớp phủ mang lại độ cứng cao cho đĩa than chì, có khả năng chống trầy xước và mài mòn, do đó kéo dài tuổi thọ của Đĩa Epit Wax được phủ SiC và giảm tần suất thay thế trong môi trường sản xuất chất bán dẫn.
Khả năng chống lại axit, bazơ, muối và thuốc thử hữu cơ: Lớp phủ CVD SiC của đĩa Epit Wax được phủ SiC mang lại khả năng chống chịu tuyệt vời với nhiều loại tác nhân ăn mòn, bao gồm axit, bazơ, muối và thuốc thử hữu cơ, khiến nó phù hợp để sử dụng trong các môi trường tiếp xúc với hóa chất là một mối quan tâm, do đó nâng cao độ tin cậy và tuổi thọ của thiết bị.
Lớp bề mặt Beta-SiC: Lớp bề mặt SIC (Silicon Carbide) của Đĩa Epit Wax được phủ SiC bao gồm beta-SiC, có cấu trúc tinh thể lập phương tâm mặt (FCC). Cấu trúc tinh thể này góp phần tạo nên các đặc tính cơ và nhiệt đặc biệt của lớp phủ, mang lại độ bền và độ dẫn nhiệt vượt trội cho đĩa, điều này rất cần thiết cho thiết bị xử lý chất bán dẫn.