SiC Chuck

Được biết đến với tính dẫn nhiệt đặc biệt, độ bền cao và khả năng chống mài mòn và ăn mòn hóa học tuyệt vời, Semicorex SiC Chuck được thiết kế để mang lại hiệu suất vượt trội trong các môi trường đòi hỏi khắt khe.

Đầu cặp SiC tản nhiệt hiệu quả, đảm bảo quản lý nhiệt ổn định trong các quá trình nhiệt độ cao, điều này rất quan trọng để duy trì tính toàn vẹn của tấm bán dẫn. Độ bền vốn có của cacbua silic mang lại độ bền vượt trội, giảm nguy cơ hỏng hóc cơ học hoặc biến dạng dưới áp lực cao. Chịu được hầu hết các hóa chất và axit, mâm cặp SiC phù hợp với môi trường mà chúng có thể tiếp xúc với các chất khắc nghiệt, nhờ đó kéo dài tuổi thọ hoạt động của chúng. Với hệ số giãn nở nhiệt thấp, mâm cặp SiC duy trì hình dạng và tính toàn vẹn cấu trúc của chúng dưới các nhiệt độ khác nhau, đảm bảo xử lý các tấm bán dẫn mỏng manh với độ chính xác cao.

Được sử dụng rộng rãi trong các quy trình như Lắng đọng hơi hóa học (CVD) và Lắng đọng hơi vật lý (PVD), trong đó việc kiểm soát nhiệt độ và khả năng kháng hóa chất là rất quan trọng.

Đầu cặp Semicorex SiC không thể thiếu trong các lĩnh vực sản xuất tiên tiến, nơi các đặc tính vượt trội của chúng góp phần cải thiện chất lượng sản phẩm, tăng hiệu quả vận hành và giảm chi phí bảo trì.