Đầu cặp chân không bằng gốm sứ Semicorex SiC là thiết bị hấp phụ chân không chính xác được sản xuất từ gốm cacbua silic, giúp các tấm bán dẫn có thể được định vị chính xác và ổn định ở các vị trí cụ thể trong quá trình xử lý và kiểm tra. Sử dụng mâm cặp chân không bằng gốm Semicorex SiC có thể giúp cải thiện năng suất sản xuất chất bán dẫn, nâng cao hiệu suất của thiết bị bán dẫn và giảm chi phí sản xuất tổng thể.
Các lỗ siêu nhỏ được thiết kế chính xác được phân bố đồng đều trên bề mặt của mâm cặp chân không bằng gốm SiC, cho phép kết nối đáng tin cậy với thiết bị chân không bên ngoài. Trong quá trình vận hành, bơm chân không được kích hoạt để hút không khí qua các lỗ, tạo ra môi trường áp suất âm giữa wafer bán dẫn và mâm cặp chân không. Do đó, điều này cho phép tấm wafer được giữ đồng đều và chắc chắn trên bề mặt mâm cặp chân không.
Dấu chấm phẩyMâm cặp chân không gốm SiClựa chọn cẩn thận cacbua silic có độ tinh khiết cao làm nguyên liệu thô. Sự kiểm soát nghiêm ngặt của Semicorex đối với độ tinh khiết của vật liệu ngăn ngừa hiệu quả sự nhiễm bẩn tấm bán dẫn do tạp chất gây ra trong quá trình vận hành, do đó đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng về độ sạch và năng suất trong sản xuất.
Bề mặt của mâm cặp chân không bằng gốm Semicorex SiC được đánh bóng gương và độ phẳng của chúng được kiểm soát ở mức 0,3–0,5 μm. Khả năng kiểm soát độ phẳng cực cao này có thể tạo ra hiệu ứng tiếp xúc tối ưu, giúp giảm đáng kể nguy cơ trầy xước tấm bán dẫn do bề mặt tiếp xúc thô ráp gây ra. Mỗi lỗ và rãnh siêu nhỏ trong mâm cặp chân không đều được gia công chính xác, nhờ đó mang lại hiệu quả hấp phụ ổn định và đồng đều trong quá trình vận hành.
Semicorex cung cấp cho khách hàng các dịch vụ tùy chỉnh, cung cấp nhiều lựa chọn kích thước khác nhau của mâm cặp chân không bằng gốm SiC, chẳng hạn như 6 inch, 8 inch, 12 inch. Chúng tôi có thể điều chỉnh dung sai kích thước, kích thước lỗ, độ phẳng và độ nhám để đáp ứng yêu cầu của khách hàng, đảm bảo sự phù hợp hoàn hảo với thiết bị kiểm tra và xử lý chất bán dẫn của bạn.
Dấu chấm phẩygốm SiCMâm cặp chân không được hình thành bằng cách ép đẳng tĩnh và sau đó thiêu kết ở nhiệt độ cao. Sau công nghệ xử lý đặc biệt này, mâm cặp chân không bằng gốm Semicorex SiC sở hữu nhiều hiệu suất vượt trội như nhẹ, độ cứng cao, khả năng chống mài mòn mạnh và hệ số giãn nở nhiệt thấp. Những đặc tính này cho phép mâm cặp chân không bằng gốm Semicorex SiC được vận hành liên tục trong những điều kiện khó khăn trong xử lý và xử lý tấm bán dẫn.