Mái chèo đúc hẫng bằng gốm SiC silicon có lực tải lớn thích hợp cho hệ thống xử lý và tải tự động của robot vì nó có hiệu suất ổn định, không biến dạng ở nhiệt độ cao và lực tải wafer lớn. Semicorex cam kết cung cấp các sản phẩm chất lượng với giá cả cạnh tranh, chúng tôi mong muốn trở thành đối tác lâu dài của bạn tại Trung Quốc.
Do phần của mái chèo đúc hẫng ổn định và không bị biến dạng nên có thể chế tạo tấm bán dẫn có kích thước lớn hơn bằng cách sử dụng các ống lò hiện có. Mái chèo đúc hẫng bằng gốm SiC có thể được áp dụng cho LPCVD trên cơ sở hệ số giãn nở nhiệt tương tự với lớp phủ LPCVD, giúp kéo dài đáng kể chu trình bảo trì và làm sạch, đồng thời giảm đáng kể các chất ô nhiễm.
Chúng tôi có thể sản xuất sản phẩm theo bản vẽ và môi trường làm việc của bạn.
Đặc trưng:
Tải lớn
Độ dẫn nhiệt thấp
Chịu nhiệt độ cao