Thuyền gốm sic

Thuyền gốm Semicorex SIC là những người vận chuyển tiên tiến được thiết kế đặc biệt để vận chuyển, lưu trữ và xử lý các tấm bán dẫn trong các môi trường hóa học và nhiệt độ cực kỳ khắt khe nhất. Ngành công nghiệp bán dẫn đã nhanh chóng áp dụng các tiêu chuẩn hiệu suất mới, yêu cầu các thuyền gốm SIC phải đáng tin cậy, đáng tin cậy và không bị ô nhiễm đạt được nhu cầu không dung nạp và quan trọng đối với các quy trình chế tạo wafer hiện đại.

Sự ổn định và sức mạnh nhiệt mạnh mẽ

Thuộc tính xác định của thuyền gốm sic là độ ổn định nhiệt rất cao. Thuyền gốm SIC có thể chịu đựng được nhiệt độ vượt quá 1600 ° C mà không mất hình dạng hoặc cấu trúc của chúng trong các quá trình đạp xe nhiệt tích cực. Do hệ số giãn nở nhiệt cực thấp, các thuyền gốm SIC ít bị biến dạng và nứt, cho phép dung sai chặt chẽ và an toàn wafer tổng thể trong quá trình xử lý trong điều kiện cứng.

Độ tinh khiết và kháng hóa học cao

Thuyền gốm sic được chế tạo từ cacbua silicon cực kỳ tinh khiết. Thuyền gốm SIC cũng có khả năng chống thoái hóa hóa học, ăn mòn và làm xói mòn plasma. Bản chất trơ của thuyền gốm sic có nghĩa là các quá trình của khí ăn mòn, môi trường phản ứng, điều kiện axit sẽ hình thành không bị ô nhiễm từ thuyền hoặc không có gì hòa tan trong quá trình làm việc. Bề mặt không bị nhiễm bẩn của các thuyền gốm SIC cho phép không tạo ra hạt hoặc nước lọc ion do đó, bề mặt wafer không bị nguy hiểm bởi các tạp chất cản trở hiệu suất hoặc năng suất của thiết bị.

Kỹ thuật chính xác để xử lý wafer an toàn và an toàn

Thuyền gốm SIC được sản xuất trong dung sai chặt chẽ, cho phép chúng xử lý các tấm wafer có đường kính khác nhau, bao gồm 100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm, v.v. Thiết kế kết cấu của các thuyền SIC cung cấp độ phẳng tuyệt vời, song song và kích thước khe đồng đều để duy trì định hướng rèn wafer thích hợp và bảo vệ các cạnh của wafer khi chuyển sang quy trình hoặc công cụ khác. Tất cả các thuyền SIC có thể được thiết kế với kích thước tùy chỉnh để phù hợp với bộ công cụ hoặc đáp ứng bất kỳ thông số kỹ thuật tự động hóa nào.

Tuổi thọ dài và hiệu quả hơn về chi phí

SIC thay thế các vật liệu truyền thống (thạch anh, alumina) bằng cường độ cơ học được cải thiện đáng kể, độ bền gãy và khả năng chống sốc nhiệt. Mức độ bền này có nghĩa là một thời gian dài hơn trước "thất bại", ít thay thế đáng kể hơn trong quá trình hoạt động và tổng chi phí sở hữu thấp hơn. Tính nhất quán về hiệu suất từ độ bền của SIC sẽ giảm thời gian xuống và tăng tốc độ thông lượng trên các dòng sản xuất chất bán dẫn.

Mở các ứng dụng trong các quy trình bán dẫn

Thuyền gốm sic được sử dụng rộng rãi trong các quá trình bán dẫn phía trước như:

Lắng đọng LPCVD và PECVD

Quá trình oxy hóa nhiệt

Cấy ion

Ủ và khuếch tán

Làm sạch wafer và xử lý hóa học

Tay cầm gốm SIC có các ứng dụng xử lý tương thích trong cả hai buồng quy trình khí quyển và chân không, làm cho nó trở thành một lựa chọn lý tưởng cho các xưởng đúc và FAB đang tìm cách giảm thiểu và giảm nguy cơ ô nhiễm trong khi tăng cường năng suất.