Mái chèo sic đúc

Các mái chèo háng semicorex sic là các thành phần hiệu suất cao được thiết kế chính xác để xử lý wafer và vận chuyển wafer trong thiết bị xử lý nhiệt bán dẫn (LPCVD, PECVD, oxy hóa và lò khuếch tán). Những mái chèo đúc hẫng này cung cấp một nền tảng cho các tấm wafer và một hình thức hỗ trợ cần thiết, đảm bảo vận chuyển các tấm dễ dàng của dễ dàng và đáng tin cậy thông qua các quy trình nhiệt độ cao khắc nghiệt (thường vượt quá 1200 ° C). Các mái chèo đúc hẫng được sản xuất từ cacbua silicon có độ tinh khiết cao (SIC) cung cấp độ bền cơ học, độ ổn định nhiệt và tính chất chống ăn mòn cho môi trường chế tạo bán dẫn.

Carbide silicon là một vật liệu gốm siêu cao cấp với độ dẫn nhiệt tuyệt vời, mở rộng nhiệt thấp và khả năng thực hiện đáng tin cậy trong môi trường thù địch hóa học. Silicon cacbua trong mái chèo đúc hẫng có thể giúp giảm sự cong vênh nhiệt

 và chuyển động giữ cho wafer phẳng và ở vị trí xử lý danh nghĩa của họ. Tính ổn định nhiệt của wafer trong bối cảnh mái chèo đúc hẫng rất quan trọng để giảm thiểu các vấn đề ô nhiễm hạt và chuyển động cơ học đặc biệt là khi sản xuất các thiết bị nút tiên tiến. Những vấn đề này có thể dẫn đến mất năng suất hoặc làm lại và thay thế tốn kém.

Hình thức nguyên khối của mái chèo sic Cantilever cải thiện độ bền cơ học và tính đồng nhất nhiệt trong khi loại bỏ các khớp và các điểm yếu thường có thể tồn tại trong vật liệu tổng hợp. Hơn nữa, bề mặt hoàn thiện của các mái chèo được kiểm soát cụ thể, và thường được đánh bóng thành chất lượng gương gần để giảm thiểu việc tạo hạt và tuân thủ lớp rất sạch.

Trong các quá trình khuếch tán và oxy hóa liên quan đến oxy, hơi nước và các loại khí phản ứng khác; Các vật liệu thông thường có thể tan vỡ hoặc biến dạng theo thời gian. Tính chất trơ hóa học vốn có của SIC, đảm bảo các mái chèo sẽ không thoát ra, hoặc ăn mòn và đưa ra ô nhiễm cho quá trình do sử dụng các vật liệu không ổn định, góp phần vào một quá trình ổn định hơn và kết quả đáng tin cậy hơn.  Tính toàn vẹn về cấu trúc của mái chèo hẫng sic vẫn ổn định mặc dù việc đạp xe và làm mát nhanh chóng. Do đó, họ cung cấp tuổi thọ dịch vụ hoạt động lâu dài với thời gian ngừng bảo trì hoặc thay thế một phần.

Ngoài ra, khối lượng giảm và trọng lượng nhẹ của mái chèo SIC cho phép đáp ứng nhiệt nhanh hơn; Do đó, cho phép thời gian tăng nhiệt nhanh hơn và giảm nhiệt góp phần tăng năng suất và hiệu quả năng lượng, tất cả các số liệu chính trong bối cảnh cạnh tranh của sản xuất chất bán dẫn.

Mái chèo Cantilever có thể được cung cấp trong nhiều cấu hình và kích cỡ khác nhau, được thiết kế và sản xuất để phù hợp với các thiết kế lò khác nhau và kích thước wafer từ 100 mm đến 300 mm và lớn hơn. Các nhà tích hợp OEM và thiết bị đánh giá cao tính nhất quán và độ tin cậy của các mái chèo SIC theo thời gian, để triển khai trong cả hai quy trình đầu tiên và back-end.

Semicorex cung cấp các mái chèo đúc hẫng sic cao cấp với sự kiểm soát chặt chẽ về độ tinh khiết vật liệu, cấu trúc vi mô và dung sai kích thước. Khả năng quy trình nâng cao của chúng tôi, cùng với kiến thức của chúng tôi về động lực nhiệt chất bán dẫn, cho phép chúng tôi tạo ra mái chèo với các thuộc tính đáp ứng hoặc vượt quá tiêu chuẩn của ngành về sự ổn định, sạch sẽ và độ bền. Khi cần phải đúng và đáng tin cậy, Semicorex là nơi để đi cho các thành phần SIC chất lượng.