Thuyền SiC

Dấu chấm phẩySiCthuyền là giá đỡ tấm wafer bằng gốm được chế tạo chính xác, được thiết kế đặc biệt cho quá trình khuếch tán trong sản xuất chất bán dẫn và quang điện. Các thành phần hiệu suất cao này đóng một vai trò quan trọng trong việc cho phép sản xuất các thiết bị điện tử chất lượng cao bằng cách giữ chặt các tấm silicon trong quá trình khuếch tán nhiệt của chất pha tạp. Thuyền SiC được sử dụng rộng rãi do đặc tính vật liệu vượt trội, bao gồm độ tinh khiết cao, độ ổn định nhiệt tuyệt vời và khả năng chống ăn mòn hóa học, khiến chúng không thể thiếu trong môi trường đòi hỏi nhiệt độ cao và hóa chất.

Ứng dụng trong quá trình khuếch tán

Thuyền SiC chủ yếu được sử dụng trong quá trình khuếch tán, một bước quan trọng trong chế tạo chất bán dẫn và pin mặt trời. Quá trình này liên quan đến việc đưa các chất tạp chất như phốt pho hoặc boron vào các tấm silicon để thay đổi tính chất điện của chúng. Quá trình khuếch tán yêu cầu quản lý nhiệt chính xác và môi trường ổn định về mặt hóa học để đảm bảo phân phối tạp chất đồng đều và chất lượng wafer ổn định. Khả năng chịu nhiệt độ cao và độ bền của thuyền SiC khiến chúng trở nên lý tưởng cho ứng dụng này, đặc biệt là trong các công nghệ pin mặt trời tiên tiến như TOPCon loại N (Tiếp xúc thụ động oxit đường hầm) và các tế bào quang điện thế hệ tiếp theo khác.

Các tính năng chính của Thuyền SiC

Độ tinh khiết cao:

Thuyền SiC được sản xuất bằng gốm silicon cacbua có độ tinh khiết lên tới 86,5%. Điều này đảm bảo mức độ ô nhiễm tối thiểu của các tấm bán dẫn trong quá trình khuếch tán, duy trì các tiêu chuẩn cao cần thiết cho vật liệu cấp bán dẫn.

Ổn định nhiệt:

cacbua silicKhả năng dẫn nhiệt đặc biệt và khả năng chống sốc nhiệt của thuyền cho phép thuyền chịu được sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng và duy trì tính toàn vẹn về cấu trúc ở nhiệt độ trên 1.000°C. Sự ổn định này đảm bảo hiệu suất đáng tin cậy qua nhiều chu kỳ khuếch tán.

Kháng hóa chất:

Thuyền SiC thể hiện khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời, ngay cả khi tiếp xúc với các loại khí tạp chất phản ứng như phosphine và boron trichloride. Đặc tính này đảm bảo độ bền lâu dài và giảm nguy cơ ô nhiễm.

Kỹ thuật chính xác:

Thiết kế của thuyền SiC nhấn mạnh vào độ chính xác cao để chứa các tấm bán dẫn có đường kính khác nhau một cách an toàn. Kỹ thuật sản xuất tiên tiến đảm bảo tính đồng nhất và khả năng tương thích với các hệ thống xử lý tự động, nâng cao hiệu quả vận hành trong dây chuyền sản xuất công suất cao.

Độ bền và tuổi thọ:

Thuyền SiC có khả năng chống mài mòn đặc biệt, giúp kéo dài đáng kể tuổi thọ sử dụng so với các vật liệu khác. Độ bền này giúp tiết kiệm chi phí cho nhà sản xuất bằng cách giảm tần suất thay thế.

Tùy chọn tùy chỉnh:

Để đáp ứng các yêu cầu đa dạng của các nhà sản xuất chất bán dẫn và quang điện, thuyền SiC có thể được tùy chỉnh về kích thước, công suất tấm bán dẫn và thông số kỹ thuật thiết kế. Tính linh hoạt này đảm bảo khả năng tương thích với các hệ thống và quy trình khuếch tán cụ thể.

Ưu điểm của thuyền SiC trong quá trình khuếch tán

Thuyền SiC mang lại những lợi thế khác biệt so với các vật liệu truyền thống như thạch anh hoặc than chì:

Giảm nguy cơ ô nhiễm:

Độ tinh khiết cao củacacbua silicgiảm thiểu việc giải phóng các tạp chất có thể ảnh hưởng đến chất lượng wafer trong quá trình khuếch tán.

Cải thiện hiệu quả quy trình:

Độ dẫn nhiệt của SiC đảm bảo phân phối nhiệt đồng đều trên tất cả các tấm wafer, tăng cường tính nhất quán khuếch tán tạp chất và giảm khuyết tật.

Tăng cường an toàn và độ tin cậy:

Độ bền cơ học và khả năng chống biến dạng của SiC trong điều kiện nhiệt độ cao góp phần vận hành an toàn hơn và mang lại kết quả đáng tin cậy hơn trong môi trường khuếch tán đòi hỏi khắt khe.

Tính bền vững:

Tuổi thọ lâu dài của thuyền SiC giúp giảm chất thải và hỗ trợ các hoạt động sản xuất bền vững với môi trường.

Các ứng dụng ngoài khả năng khuếch tán

Mặc dù các quy trình khuếch tán là ứng dụng chính của thuyền SiC, nhưng đặc tính mạnh mẽ của chúng khiến chúng phù hợp với các quy trình có tính ăn mòn hóa học và nhiệt độ cao khác, bao gồm:

• Quá trình oxy hóa và ủ trong sản xuất chất bán dẫn.
• Quá trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để tăng trưởng màng mỏng.
• Quy trình nhiệt độ cao trong sản xuất tế bào quang điện tiên tiến.

Thuyền SiC là thành phần thiết yếu trong quá trình khuếch tán, cho phép sản xuất chính xác và đáng tin cậy các thiết bị bán dẫn và quang điện. Với các đặc tính vật liệu, độ bền và các tùy chọn tùy chỉnh chưa từng có, các giá đỡ wafer gốm cacbua silicon này đặt ra tiêu chuẩn mới về hiệu suất trong các ứng dụng đòi hỏi nhiệt độ cao và hóa chất. Thuyền SiC của Semicorex được thiết kế để đáp ứng nhu cầu ngày càng tăng của ngành, cung cấp cho các nhà sản xuất những công cụ họ cần để luôn dẫn đầu trong một thị trường ngày càng cạnh tranh.